中國粉體網(wǎng)訊  近年來，半導體市場需求不斷增長，尤其是在5G通信、人工智能等新興領域的崛起下，對高純硅的需求急速攀升。在此背景下，半導體行業(yè)持續(xù)迅速發(fā)展，全球?qū)Ω咂焚|(zhì)單晶硅的需求量不斷增長。目前這一關鍵原材料石英砂主要依賴進口，國內(nèi)外部高純石英砂資源供應存在局限，加之國際市場價格波動和地緣政治風險，制約了我國半導體產(chǎn)業(yè)鏈的穩(wěn)定發(fā)展。同時，半導體產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展對高品質(zhì)原材料的需求更為迫切。

然而，現(xiàn)有高純石英砂標準不規(guī)范、不統(tǒng)一，存在著生產(chǎn)環(huán)節(jié)中無法匹配的情況。此外，長期依賴進口高純石英砂造成了供應鏈不穩(wěn)定性，價格波動頻繁影響了半導體產(chǎn)業(yè)的正常生產(chǎn)秩序。面臨這些問題，急需建立半導體單晶硅生產(chǎn)用高純石英砂標準，進行標準制度化管理，因此，開展半導體單晶硅生產(chǎn)用高純石英砂標準研制項目具有重要意義。

近日，由全國城市工業(yè)品貿(mào)易中心聯(lián)合會歸口管理，浙江美晶新材料股份有限公司等相關單位共同起草的《半導體單晶硅生產(chǎn)用高純石英砂》團體標準征求意見稿發(fā)布。

文件規(guī)定了半導體單晶硅生產(chǎn)用高純石英砂的術語和定義、技術要求、試驗方法、檢驗規(guī)則、標志、包裝、運輸和儲存技術內(nèi)容。文件適用于半導體單晶硅生產(chǎn)用高純石英砂。

術語和定義

高純石英砂：指具有極高純度的石英砂，通常要求石英含量接近100%，并且少含雜質(zhì)（如金屬氧化物、碳等）以確保最終單晶硅的純凈度和電子級要求。

粒度：指砂子中各顆粒粒徑大小的分布范圍及其均勻性。通常采用網(wǎng)孔尺寸、平均直徑或者累積頻率等方式進行描述。常見的石英砂粒度等級包括粗砂、細砂、細沙、細粉沙等。

雜質(zhì)元素：指在石英砂原料中除主要成分二氧化硅（SiO₂）以外的其他元素，包括鋁、鈣、鐵、鈉、鉀、鋰、鎂、鉻、鎳、硼、錳、銅等元素，這些雜質(zhì)元素的存在可能會對單晶硅的制備過程以及最終產(chǎn)品的性能產(chǎn)生不利影響。

GDMS法：輝光放電質(zhì)譜法，簡稱GDMS，是利用輝光放電源作為離子源與質(zhì)譜儀器聯(lián)接進行質(zhì)譜測定的一種分析方法。GDMS被認為是目前對固體導電材料直接進行痕量及超痕量元素分析的最有效的手段。由于其可以直接固體進樣，已成為無機固體材料，尤其是高純金屬、合金等材料雜質(zhì)成分分析方法。

技術要求

外觀：高純石英砂應為透明顆粒、白色顆�；蛘邷\色顆粒，無結(jié)團。

粒度：高純石英砂粒度要求應符合表1的規(guī)定。

表1  粒度要求

雜質(zhì)元素含量：高純石英砂雜質(zhì)元素總含量應≤20 μg/g，其中鉀、鋰、鈉含量總和＜2.5 μg/g，各雜質(zhì)元素含量應符合表2的規(guī)定。

表2  各雜質(zhì)元素含量

二氧化硅含量：高純石英砂中二氧化硅含量應大于或等于99.998%。

參考來源：

全國城市工業(yè)品貿(mào)易中心聯(lián)合會

團體標準《半導體單晶硅生產(chǎn)用高純石英砂》編制說明

團體標準《半導體單晶硅生產(chǎn)用高純石英砂》征求意見稿

（中國粉體網(wǎng)編輯整理/初末）

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