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洛陽(yáng)中硅高科純度99.999999999%電子級(jí)多晶硅中試成功


來(lái)源:洛陽(yáng)網(wǎng)

[導(dǎo)讀]  去年以來(lái),龍門(mén)實(shí)驗(yàn)室牽頭聯(lián)合中硅高科和麥斯克公司,打通電子級(jí)多晶硅制備和應(yīng)用等多個(gè)環(huán)節(jié),逐步突破超低金屬雜質(zhì)控制等核心關(guān)鍵技術(shù)。

中國(guó)粉體網(wǎng)訊  一塊塊散發(fā)金屬光澤的深灰色電子級(jí)多晶硅,在洛陽(yáng)中硅高科技有限公司多晶硅制備車(chē)間新鮮出爐,它們的目的地,是麥斯克電子材料股份有限公司等下游集成電路企業(yè)。


“龍門(mén)實(shí)驗(yàn)室聯(lián)合企業(yè)推進(jìn)的重大項(xiàng)目‘先進(jìn)硅基光電功能材料’前不久已中試成功,標(biāo)志著實(shí)驗(yàn)路線(xiàn)正式得到工藝驗(yàn)證。”在龍門(mén)實(shí)驗(yàn)室,智能裝備先進(jìn)材料科創(chuàng)中心主任潘昆明難掩心中激動(dòng)。


中硅高科,誕生中國(guó)第一條規(guī);a(chǎn)多晶硅生產(chǎn)線(xiàn)的地方,如今在與龍門(mén)實(shí)驗(yàn)室的“共舞”中,找到了創(chuàng)新突圍新的方向——電子級(jí)多晶硅。


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電子級(jí)多晶硅是制造半導(dǎo)體芯片的原材料,被稱(chēng)為電子信息產(chǎn)業(yè)的“糧食”。以電子級(jí)多晶硅為原材料制造的硅片,經(jīng)過(guò)后期的打磨、拋光、蝕刻、光刻、封裝等環(huán)節(jié),變身一顆顆高附加值的芯片,嵌入到手機(jī)、電腦、汽車(chē)等終端產(chǎn)品中。


潘昆明介紹,相比起光伏級(jí)多晶硅99.9999999%,也就是9N的純度,電子級(jí)多晶硅的純度要求高達(dá)11N,是前者的100倍!按騻(gè)比喻,就好像在國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)泳池里最多摻一滴墨水,再多純度就不合格了。”潘昆明說(shuō)。


復(fù)雜技術(shù)壁壘下,世界電子級(jí)多晶硅生產(chǎn)企業(yè)主要集中在美、日、德三國(guó)。我國(guó)半導(dǎo)體硅片制造用的電子級(jí)多晶硅95%以上依賴(lài)進(jìn)口。突破電子級(jí)多晶硅生產(chǎn)技術(shù),對(duì)于保障我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)的戰(zhàn)略安全意義重大。


去年以來(lái),龍門(mén)實(shí)驗(yàn)室牽頭聯(lián)合中硅高科和麥斯克公司,打通電子級(jí)多晶硅制備和應(yīng)用等多個(gè)環(huán)節(jié),逐步突破超低金屬雜質(zhì)控制等核心關(guān)鍵技術(shù)。


在項(xiàng)目推進(jìn)過(guò)程中,龍門(mén)實(shí)驗(yàn)室充分發(fā)揮自身基礎(chǔ)研究?jī)?yōu)勢(shì),為研發(fā)提供化學(xué)、分子動(dòng)力學(xué)等方面的分析和模擬!拔覀兺ㄟ^(guò)理論推導(dǎo)和計(jì)算模擬,使得數(shù)以百計(jì)的工藝組合效果在電腦上精確推導(dǎo),大大減少企業(yè)在生產(chǎn)線(xiàn)上試錯(cuò)的成本,提高了研發(fā)的質(zhì)效!迸死ッ髡f(shuō)。


自去年3月揭牌以來(lái),龍門(mén)實(shí)驗(yàn)室既向上緊盯國(guó)家戰(zhàn)略需求,聚焦河南“十大戰(zhàn)略”,又向下扎根本地市場(chǎng),充分發(fā)揮洛陽(yáng)十大產(chǎn)業(yè)集群優(yōu)勢(shì),凝練了“先進(jìn)硅基光電功能材料”等6個(gè)重大項(xiàng)目,涵蓋農(nóng)機(jī)裝備、光電元器件、電子化工材料等領(lǐng)域。這些項(xiàng)目技術(shù)需求均來(lái)自中信重工、中國(guó)一拖等洛陽(yáng)重點(diǎn)企業(yè),科研成果直接服務(wù)于企業(yè)發(fā)展,實(shí)現(xiàn)創(chuàng)新鏈與產(chǎn)業(yè)鏈的“無(wú)縫對(duì)接”。


“未來(lái),我們將持續(xù)推進(jìn)6個(gè)重大項(xiàng)目,力爭(zhēng)年底前取得一批標(biāo)志性科研成果,助力洛陽(yáng)‘風(fēng)口’產(chǎn)業(yè)發(fā)展以及國(guó)家高水平科技自立自強(qiáng)。”中國(guó)工程院院士、龍門(mén)實(shí)驗(yàn)室主任樊會(huì)濤語(yǔ)氣堅(jiān)定地說(shuō)。


(中國(guó)粉體網(wǎng)編輯整理/初末)

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