天天日夜夜,久久老女人,人人爱国产,91视频青青草

【原創(chuàng)】半導(dǎo)體零部件重要處理技術(shù)——陶瓷熔射


來源:中國粉體網(wǎng)   山川

[導(dǎo)讀]  陶瓷熔射是半導(dǎo)體零部件重要處理技術(shù)。

中國粉體網(wǎng)訊  半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展,催生了一大批服務(wù)配套產(chǎn)業(yè)。其中就包含設(shè)備零部件洗凈服務(wù)產(chǎn)業(yè),半導(dǎo)體設(shè)備零部件洗凈產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅速,市場主體不斷增加,市場規(guī)模迅速增長。

 

洗凈服務(wù)是新設(shè)備零部件組裝前必不可少的關(guān)鍵環(huán)節(jié),也是使用中的設(shè)備日常保養(yǎng)和維護的重要措施和必要環(huán)節(jié)。半導(dǎo)體設(shè)備零部件對洗凈及延伸服務(wù)廠商在資金、技術(shù)、人才和客戶資源等各個方面要求要明顯高于面板行業(yè)。而面板設(shè)備零部件洗凈行業(yè)的零部件較大、市場競爭激烈、更看重價格,兩者差別明顯。

 

隨著產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,洗凈服務(wù)企業(yè)的業(yè)務(wù)由單純的洗凈業(yè)務(wù)延伸到陶瓷熔射和陽極氧化等附加值較高的服務(wù)領(lǐng)域。泛半導(dǎo)體洗凈市場的服務(wù)產(chǎn)品幾乎涵蓋了整個工藝制程的設(shè)備零部件,其中以刻蝕設(shè)備和薄膜生長設(shè)備零部件業(yè)務(wù)為主,其他工藝制程的設(shè)備零部件(如離子注入、蒸鍍、OpenMask、爐管、化學(xué)機械研磨和光刻設(shè)備零部件)也都需要進行定期的洗凈保養(yǎng),只是業(yè)務(wù)比重不大。

 

何為陶瓷熔射?


由于半導(dǎo)體制造過程經(jīng)常處于高溫、強腐蝕性環(huán)境中,因此半導(dǎo)體零部件約有一半以上需做表面處理,以提升其耐腐蝕性。例如半導(dǎo)體刻蝕設(shè)備的等離子體刻蝕腔室處于高密度、高腐蝕、高活性等離子體環(huán)境中,腔室及其組件極易受到等離子體的腐蝕,為了延長這些組件的使用壽命,經(jīng)常采用在鋁基材料(鋁與鋁合金)表面進行陽極氧化、陶瓷熔射等手段以有效地降低等離子體對腔室及其它鋁基材料的腐蝕。

 

陶瓷熔射技術(shù)是一種熱噴涂技術(shù),其基本原理是將陶瓷材料加熱熔化,在氣體帶送高速下沖擊附著于底材或工件表面。熔射技術(shù)有火焰熔射、電弧熔射、電漿熔射、以及等離子熔射等不同的方法。發(fā)明人權(quán)太植公開了一種干式刻蝕工藝用陶瓷件的熔射方法,首先將待熔射陶瓷件放入到浸泡液中浸泡;接著采用純水洗凈陶瓷件并烘干;然后采用耐高溫遮蔽膠帶和特氟龍帽對陶瓷件進行遮蔽,遮蔽非熔射面,露出熔射面;再對熔射面進行噴砂處理,接著對熔射面進行等離子噴涂;然后去除陶瓷件上遮蔽的耐高溫遮蔽膠帶和特氟龍帽,再進行二次清洗,烘干;最后檢查熔射涂層的外觀和尺寸。

 


等離子噴涂工藝工作原理圖


陶瓷熔射的涂層性能指標(biāo)包括涂層厚度、硬度、結(jié)合強度、孔隙率、耐磨性、電化學(xué)性能、抗腐蝕性、表面離子污染和雜質(zhì)污染等物理化學(xué)性質(zhì)和使用性能。隨著產(chǎn)業(yè)的發(fā)展設(shè)備零部件對耐腐蝕涂層的要求越來越高,應(yīng)用范圍也越來越大。陶瓷熔射的主要零部件包括:半導(dǎo)體刻蝕腔體內(nèi)內(nèi)襯、鐘罩、靜電吸盤、氣體分配盤等關(guān)鍵零部件,TFT刻蝕腔體中的陶瓷板、內(nèi)壁板、上部電極、下部電極等重要零部件,在物理和化學(xué)氣相沉積設(shè)備的腔體中也有應(yīng)用。

 

2020年國內(nèi)泛半導(dǎo)體零部件清洗市場總計26億元人民幣,其中面板9.8億人民幣、半導(dǎo)體16.2億人民幣。據(jù)有關(guān)機構(gòu)預(yù)測,預(yù)計到2025年洗凈市場增加到43.4億,年復(fù)合增長率10.8%。在陶瓷熔射和陽極氧化方面,國內(nèi)廠商在半導(dǎo)體領(lǐng)域還需要破局,這兩方面業(yè)務(wù)市場達到4.9億人民幣,2025年將增長至8.7億人民幣。

 

參考來源:

[1]朱晶.半導(dǎo)體零部件產(chǎn)業(yè)現(xiàn)狀及對我國發(fā)展的建議

[2]一文讀懂國內(nèi)泛半導(dǎo)體設(shè)備零部件洗凈服務(wù)行業(yè).芯謀研究


推薦17

作者:山川

總閱讀量:12593231

相關(guān)新聞:
網(wǎng)友評論:
0條評論/0人參與 網(wǎng)友評論

版權(quán)與免責(zé)聲明:

① 凡本網(wǎng)注明"來源:中國粉體網(wǎng)"的所有作品,版權(quán)均屬于中國粉體網(wǎng),未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用。已獲本網(wǎng)授權(quán)的作品,應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使用,并注明"來源:中國粉體網(wǎng)"。違者本網(wǎng)將追究相關(guān)法律責(zé)任。

② 本網(wǎng)凡注明"來源:xxx(非本網(wǎng))"的作品,均轉(zhuǎn)載自其它媒體,轉(zhuǎn)載目的在于傳遞更多信息,并不代表本網(wǎng)贊同其觀點和對其真實性負(fù)責(zé),且不承擔(dān)此類作品侵權(quán)行為的直接責(zé)任及連帶責(zé)任。如其他媒體、網(wǎng)站或個人從本網(wǎng)下載使用,必須保留本網(wǎng)注明的"稿件來源",并自負(fù)版權(quán)等法律責(zé)任。

③ 如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)等問題,請在作品發(fā)表之日起兩周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系,否則視為放棄相關(guān)權(quán)利。

粉體大數(shù)據(jù)研究
  • 即時排行
  • 周排行
  • 月度排行
圖片新聞
无码人妻精品一区二区蜜桃网站| 伊人激情| 农场性另类xxxxxx| 欧美色图亚洲综合| 久久无码人妻丰满熟妇区毛片| 欧美日韩二三区| 上高县| 亚洲国产福利成人一区二区| 97资源在线| 自拍偷自拍亚洲精品被多人伦好爽| 亚洲熟女一区| 日韩免费a| 秋霞理论午夜一级一片| 国产激情在线观看一区二区三区| 老熟女chese老熟女| 三级全黄| 亚洲综合色婷婷| 国产一区二区三区免费视频| 亚洲avwww| 中文字幕一区二区三三| 日韩中文字幕视频在线观看| 国产AV日韩AⅤ亚洲AV无码馆| 久久丁香综合| 国产精品 欧美日韩| 国产免费白浆| 欧美巨大激情久久久| 黄片视频免费看| 一本Av不卡| 狼友在线播放| 国产欧美黑人123| 色日本综合| 亚洲一区二区无码视频| 亚洲少妇日韩| 一本之道高清码2022| 主播户外精品在线| 久久综合九色欧美综合狠狠| 66AV在线观看| 综合色站哦| 10天的爱人| julia国产无码在线| 四虎影院|