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聽專家講一講如何用原位合成法制備氮化鋁粉體


來源:中國粉體網(wǎng)   山川

[導(dǎo)讀]  隨著近年來集成電路的發(fā)展,氮化鋁憑借出色的高導(dǎo)熱特性,被認(rèn)為是新一代高集成度半導(dǎo)體基片和電子器件的理想封裝材料,此外,氮化鋁還作為一種超寬禁帶半導(dǎo)體材料廣受關(guān)注,高品質(zhì)氮化鋁粉體的制備方法也引起了大家的重視。

中國粉體網(wǎng)訊  氮化物是氮與金屬或非金屬元素以共價鍵相結(jié)合的難熔化合物,如氮化鋁、氮化鈦、氮化鐵、氮化硅等。氮化物陶瓷具有極其優(yōu)良的耐化學(xué)腐蝕性能,是制造各種易腐蝕部件的好材料。它能耐幾乎所有的無機(jī)酸(氫氟酸除外)和30%以下的燒堿溶液,也能耐很多有機(jī)物質(zhì)的侵蝕,所以氮化物的應(yīng)用非常廣泛。


隨著近年來集成電路的發(fā)展,氮化鋁憑借出色的高導(dǎo)熱特性,被認(rèn)為是新一代高集成度半導(dǎo)體基片和電子器件的理想封裝材料,此外,氮化鋁還作為一種超寬禁帶半導(dǎo)體材料廣受關(guān)注,高品質(zhì)氮化鋁粉體的制備方法也引起了大家的重視。


目前制備AlN粉體的主要方法有:直接氮化法、Al2O3碳熱還原法、自蔓延燃燒法、等離子體合成法、氣溶膠法等。其中前2種方法已適用于大規(guī)模工業(yè)生產(chǎn)。直接氮化法工藝簡單,能在較低的溫度下進(jìn)行合成,但是該方法合成AlN時,Al粉轉(zhuǎn)化率較低,易產(chǎn)生團(tuán)聚,產(chǎn)品質(zhì)量差,反應(yīng)過程難以控制。用原位合成技術(shù)制備氮化鋁作為一種新方法,近年來受到很多研究者的關(guān)注。


什么是原位合成技術(shù)


原位合成技術(shù)是近年來發(fā)展起來的一種嶄新的陶瓷及陶瓷復(fù)合材料的制備技術(shù),并且越來越受到國內(nèi)外的高度重視。同傳統(tǒng)陶瓷材料制備過程比較,原位合成陶瓷材料中的陶瓷相是在高溫自反應(yīng)過程中形成的。因此,材料的制備過程直接經(jīng)由單質(zhì)物質(zhì)間的化學(xué)反應(yīng)形成最終的陶瓷及陶瓷復(fù)合材料,避開了常規(guī)的原料制備、成型及燒結(jié)過程。原位合成技術(shù)的主要優(yōu)點(diǎn)是工藝簡單,原材料成本低,可以實(shí)現(xiàn)特殊顯微結(jié)構(gòu)設(shè)計和獲得特殊材料性能以及可以獲得近終形產(chǎn)品。


原位合成法制備氮化鋁


以鋁及其它金屬形成的合金為原料,合金中其它金屬M(fèi)先在高溫下熔出,與氮?dú)獍l(fā)生反應(yīng)生成MNx,繼而金屬Al取代氮化物MNx中的金屬M(fèi),生產(chǎn)AlN。同傳統(tǒng)的碳熱還原法相比,原位合成AlN粉體技術(shù)具備三個方面的優(yōu)勢:


1、采用合金原料,避開了雜質(zhì)氧源,因而合成粉體的含氧量會大大降低;


2、氮化鋁的生成可以與燒結(jié)助劑的復(fù)合同時完成,因而燒結(jié)助劑與氮化鋁粉的混合均勻性增加;另外,由于省去了后續(xù)的燒結(jié)助劑混料過程,因此避免了氧元素的進(jìn)入,有利于燒結(jié)工藝和產(chǎn)品性能的提高;


3、整個合成過程通常在低于1200℃的溫度下進(jìn)行,同碳熱還原法的1800℃相比低了600℃,而且簡化了工藝過程,極大地降低氮化鋁的合成成本。


但是其有一個致命的缺陷,即金屬雜質(zhì)難以分離,導(dǎo)致其絕緣性能較低。這也是目前眾多研究者的主要研究方向。


為促進(jìn)氮化鋁陶瓷基板產(chǎn)業(yè)技術(shù)的發(fā)展,中國粉體網(wǎng)旗下粉體公開課平臺將于2021年2月2日舉辦首屆“2021氮化鋁陶瓷粉體及基板技術(shù)網(wǎng)絡(luò)研討會”。為企業(yè)管理、技術(shù)人員提供一個深度交流、深入思考、磨煉內(nèi)功、強(qiáng)化自身的平臺。來自北京工業(yè)大學(xué)王群教授將走進(jìn)粉體公開課的直播間,給大家?guī)眍}為《氮化鋁粉體的原位合成方法》的報告。屆時,王群教授將對目前幾種氮化鋁粉體合成方法做對比說明,最后從合成機(jī)理、制備過程及粉體特性等方面對氮化鋁原位合成方法做重點(diǎn)介紹。


專家介紹


王群,男,教授,博士生導(dǎo)師,1994年獲大連理工大學(xué)工學(xué)博士學(xué)位,1994~1997年間為東北大學(xué)博士后研究人員,1999年晉升教授。北京工業(yè)大學(xué)電磁防護(hù)與測量學(xué)科方向?qū)W術(shù)帶頭人,中國計量測試學(xué)會理事、中國通訊學(xué)會電磁兼容委員會委員、中國儀器儀表學(xué)會功能材料分會常務(wù)理事。



參考來源:

[1]張浩等.高性能氮化鋁粉體技術(shù)發(fā)展現(xiàn)狀

[2]王杰等.氮化鋁陶瓷粉體制備方法研究進(jìn)展及展望

[3]楊清華等.氮化鋁粉體制備的研究及展望

[4] 林志浪.氮化鋁材料的原位合成制備


(中國粉體網(wǎng)編輯整理/山川)


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作者:山川

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