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德國研制出大直徑氟化鈣單晶


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    最近,德國耶拿ML微電子公司成功地研制出35Omm直徑的氟化鈣單晶體,可用于制造70nm微細(xì)結(jié)構(gòu)芯片。專家對這種新一代芯片和未來半導(dǎo)體產(chǎn)品市場前景看好。該公司首次采用了氟化鈣材料拉制單晶,單晶在真空爐里持續(xù)生長2個月,最后制得的單晶直徑達(dá)35Omm,高100mm。利用氟化鈣單晶加工芯片,芯片的微細(xì)結(jié)構(gòu)可以小至70nm,而目前硅單晶芯片的微細(xì)加工只能達(dá)到193nm。大直徑氟化鈣單晶的研制成功為生產(chǎn)新一代芯片奠定了基礎(chǔ),使公司在這一技術(shù)方面處于世界領(lǐng)先水平。    
    另據(jù)報道,繼1998年德美合資建成世界首座300mm單晶硅芯片生產(chǎn)廠后,最近,德方準(zhǔn)備再投10億歐元,建立第2個3O0mm單晶硅芯片生產(chǎn)廠,以確保德國在30Omm半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)的國際競爭地位。世界半導(dǎo)體產(chǎn)品市場的最新調(diào)查表明,未來幾年半導(dǎo)體產(chǎn)品市場仍然旺銷,1999年的銷售額為 836O億美元,2004年預(yù)計將達(dá)到 l.3萬億美元。
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