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半導(dǎo)體器件設(shè)備-硅片顯影定影設(shè)備
半導(dǎo)體器件設(shè)備-硅片顯影定影設(shè)備

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北京華林嘉業(yè)科技有限公司

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半導(dǎo)體器件設(shè)備-硅片顯影定影設(shè)備 全自動顯影機(jī)型號:CGB-XXXX—XX系列,品牌:華林嘉業(yè)—CGB 1.概述:本設(shè)備可用于半導(dǎo)體工藝中對2″~8″硅片進(jìn)行顯影和定影,該產(chǎn)品技術(shù)先進(jìn)、一致性強(qiáng),適用于規(guī)模生產(chǎn)。 2.整臺設(shè)備材料均為進(jìn)口。 3.本設(shè)備為雙排槽構(gòu)成,每排7槽,各設(shè)一套機(jī)械手,兩排可同時(shí)完成相應(yīng)的工序。 4.本設(shè)備除裝片和取片需人工外,其余工藝動作均可自動完成。 5.每槽裝片能力:50片/批(2花籃,25片/花籃)。 6.工作區(qū)潔凈度:100級。 7.槽間工藝轉(zhuǎn)換時(shí)間:Tm
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