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高效單晶圓棒是采用直拉法制備的<100>晶向的單晶，主要用于制備低衰減高轉(zhuǎn)換效率的太陽能電池。高效單晶經(jīng)過裝料-合爐-化料-調(diào)溫-穩(wěn)溫-引晶-放肩-轉(zhuǎn)肩-等徑-收尾-停爐等工序而制備得到的高純度、高壽命、低成本、晶體結(jié)構(gòu)趨近**的單晶圓棒。參數(shù)如下：
序號 | 項目 | 規(guī)格 | 檢測方式 |
Material Propeties 材料特性 | |||
1 | Growth Method | Czochralski (CZ) | - |
2 | Dopant | Boron doped | - |
3 | Type | P-Type | Napson EC-80TPN |
4 | Oxygen content | ≤8.0×1017 atoms/cm3 | FTIR(ASTM F121-83) |
5 | Carbon content | ≤5.0×1016 atoms/cm3 | FTIR(ASTM F123-91) |
6 | Surface orientation | ﹤100﹥±3o | X-ray Diffraction Method |
8 | Dislocation Density | ≤500 pcs/cm2 | Preferential Etch Techniques(ASTM F47-88) |
Electrical Propeties 電學特性 | |||
1 | Resistivity | ■ 0.5-1.5 Ω·cm □ 1.0-3.0 Ω·cm | 4-probe resistivity measurement |
2 | Silicon rod minority lifetime | ≥50us | Sinton BCT-400（SEMI PV13） |
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