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晶圓接觸角測量儀
晶圓接觸角測量儀

參考價格

面議

型號

Theta Flow Wafer

品牌

芬蘭百歐林Biolin/Attension

產(chǎn)地

芬蘭

樣本

暫無
大昌華嘉科學(xué)儀器部

白金會員

|

第15年

|

代理商

工商已核實(shí)

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核心參數(shù)
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Theta Flow Wafer晶圓接觸角測量儀是一款高端的晶圓全自動接觸角測量儀器。該儀器包括Theta Flow光學(xué)接觸角測量儀主機(jī),可配置四個具有軟件控制、可水平移動、可拋棄滴液頭的自動滴液器,以及帶自動旋轉(zhuǎn)的全自動XYZ樣品臺。


新建項(xiàng)目 (1) (1).jpg


晶圓上的接觸角測量對于評估這些材料的潤濕性和表面特性至關(guān)重要,這些材料廣泛應(yīng)用于電子制造。通過評估液滴與晶片表面接觸的角度,研究人員可以深入了解硅的表面能和粘附性能。這些信息對于優(yōu)化半導(dǎo)體制造中的涂層、光刻和鍵合等工藝至關(guān)重要。了解接觸角有助于確保晶片與生產(chǎn)過程中使用的各種材料之間的預(yù)期相互作用,*終提高電子設(shè)備的性能和可靠性。


應(yīng)用

? 研究表面清潔度

接觸角測量可以評估晶圓的清潔度,從而來評估表面污染物和殘留物的去除情況。

? 確定表面自由能

通過測量接觸角,可以推斷出表面自由能,這對于理解其他材料如何與晶圓相互作用至關(guān)重要。

? 了解粘附性能

接觸角有助于確定應(yīng)用于晶圓的涂層和薄膜的粘附性能。

? 研究親水性/疏水性

測量接觸角可以確定晶圓表面是親水還是疏水,從而影響光刻和蝕刻等工藝。

? 用于質(zhì)量控制

定期的接觸角測量可以作為質(zhì)量控制過程的一部分,以確保晶圓加工和處理的一致性。


支持晶圓接觸角測量的軟件功能

? 批量模式,用于對一排多個晶圓進(jìn)行快速測量。

? 標(biāo)準(zhǔn)座滴法,可進(jìn)行更深入的分析。


晶圓自動旋轉(zhuǎn)臺

Theta系列晶圓樣品臺是一種由軟件控制的電動平臺,用于旋轉(zhuǎn)晶圓,以實(shí)現(xiàn)直徑高達(dá)12英寸晶圓的接觸角自動定位測量。

 新建項(xiàng)目.jpg

Theta系列晶圓樣品臺包括旋轉(zhuǎn)臺(T340R)和晶圓臺面(T340RW)。晶圓臺面的插銷有助于晶圓的高精度對準(zhǔn)和定位。定位銷還有助于在測量過程中將晶圓保持在適當(dāng)?shù)奈恢?。為了進(jìn)一步固定晶圓,還可以通過內(nèi)置的真空連接口連接到真空泵。


Theta系列晶圓樣品臺連接到自動XYZ樣品臺,可以自動定位直徑高達(dá)12英寸的晶圓。為了**限度地提高旋轉(zhuǎn)臺的性能,建議將其與四個可拋棄滴液頭滴液器結(jié)合使用。這將允許自動進(jìn)行表面自由能測量,或者在只使用水的情況下增加連續(xù)的測量次數(shù)。

晶圓接觸角測量儀

晶圓接觸角測量儀

產(chǎn)品參數(shù)
測量參數(shù)表面張力,界面張力,接觸角,表面自由能
相機(jī)分辨率上限(像素)2592*2048(5 MP)
拍照速度上限(FPS)3422
旋轉(zhuǎn)移動范圍0-360°
**轉(zhuǎn)速180°/s
分辨率0.005°
精度±0.1°


樣品規(guī)格

適合的樣品尺寸2英寸, 3英寸, 4英寸, 5英寸, 6英寸, 8英寸, 12英寸晶圓
**樣品重量500g

其他

真空泵連接
接觸角的自動定位


創(chuàng)新點(diǎn)

Theta Flow Wafer晶圓接觸角測量儀是一款高端的晶圓全自動接觸角測量儀器。該儀器包括Theta Flow Wafer光學(xué)接觸角測量儀主機(jī),可配置四個具有軟件控制、可水平移動、可拋棄滴液頭的自動滴液器,以及帶自動旋轉(zhuǎn)的全自動XYZ樣品臺。

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產(chǎn)品質(zhì)量

10分

售后服務(wù)

10分

易用性

10分

性價比

10分
評論內(nèi)容
暫無評論!
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