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晶圓上蠟機(jī)AET-2000B
晶圓上蠟機(jī)AET-2000B

參考價格

面議

型號

晶圓上蠟機(jī)AET-2000B

品牌

江蘇晶工

產(chǎn)地

江蘇

樣本

暫無
江蘇晶工半導(dǎo)體設(shè)備有限公司

高級會員

|

第1年

|

生產(chǎn)商

工商已核實

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核心參數(shù)
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產(chǎn)品說明


全自動晶圓上蠟機(jī)AET-2000B為半導(dǎo)體晶圓材料的上蠟設(shè)備,通過氣缸和氣囊共同作用下壓片,

貼蠟平整度可達(dá)2um,可兼容248mm、360mm和485mm陶瓷盤。

采用高效機(jī)械手和精密級執(zhí)行機(jī)構(gòu),控制系統(tǒng)穩(wěn)定,重復(fù)定位精度高,產(chǎn)能大。

產(chǎn)品規(guī)格


項目

參數(shù)

型號

AET-2000B

晶圓尺寸

2-6英寸/4-8英寸

材質(zhì)品種

碳化硅、藍(lán)寶石、磷化銦等晶圓

涂蠟方式

離心

加熱方式和精度

電熱管、±1℃

壓貼方式

氣囊

上下料方式

高效機(jī)械手及自動傳送臂

機(jī)械手夾持方式

陶瓷手指真空吸附

加熱盤溫控范圍

40-80℃

貼片后平整度

≤2um

噴蠟重復(fù)定位精度

±0.05mm

噴蠟精度

±0.02g

裝載單元

雙工位

設(shè)備重量

L2600mmxW1200mmxH1930mm;1100Kg

自動化要求

半自動:機(jī)械手自動取片,手動卸片、搬運(yùn)和清洗陶瓷盤

全自動:機(jī)械手自動取片、卸片、陶瓷盤搬運(yùn)和清洗


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產(chǎn)品質(zhì)量

10分

售后服務(wù)

10分

易用性

10分

性價比

10分
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