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PVA TePla的IoN 100-40Qshi一款功能齊全的射頻等離子機(jī)，可用于批量晶圓去膠和清除殘膠，專為實(shí)驗(yàn)室和量產(chǎn)使用而設(shè)計(jì)，*多可處理50片晶圓，晶圓**尺寸為200毫米。
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