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SiC CMP拋光設(shè)備品牌
江蘇創(chuàng)生源產(chǎn)地
江蘇樣本
暫無(wú)磨拋盤直徑：
-主軸轉(zhuǎn)速：
-單位能耗：
-裝機(jī)功率（kw）：
-成品細(xì)度：
-工作原理：
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系統(tǒng)配置
系統(tǒng)類型:全自動(dòng)化干燥/干燥晶圓尺寸:150mm或200mm工藝可行·EFEM:2-盒式，傳輸機(jī)器人中間機(jī)器人
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