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小型三溫區(qū)PECVD設(shè)備
小型三溫區(qū)PECVD設(shè)備

參考價格

面議

型號

BTF-1200C-III-S-PECVD

品牌

貝意克

產(chǎn)地

安徽合肥

樣本

暫無
安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司

金牌會員

|

第13年

|

生產(chǎn)商

工商已核實(shí)

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核心參數(shù)
  • 非金屬電熱元件:

    其他
  • 金屬電熱元件:

    鐵鉻鋁絲
  • 燒結(jié)氣氛:

    其他
  • 溫控精度:

    ±1℃
  • 最高溫度:

    1200℃
  • 額定溫度:

    ≤1100℃
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這是一款定制組合式PECVD設(shè)備該設(shè)備主要由加熱爐、射頻組件、氣路柜組成。

1、開啟式加熱爐

加熱爐膛采用超輕氧化鋁纖維材料,配K型熱電偶,3點(diǎn)控溫;設(shè)備升降溫控制靈活、加熱爐可開啟方便客戶更換維修反應(yīng)管。

2、射頻組件

500W射頻機(jī)組,可以使整個實(shí)驗(yàn)腔體都處于輝光產(chǎn)生區(qū),輝光均勻等效。

3、氣路柜組件

可控制多種氣體按照不同流量進(jìn)行混合配比,由超潔雙拋不銹鋼管與精密雙卡套接頭組成,外形美觀,操作簡便,數(shù)據(jù)直觀可讀。


加熱總功率

≤7KW

額定電壓

220V

**溫度

1200℃

工作溫度

≦1100℃

升溫速率

≦10℃/min

加熱元件

電阻絲

加熱區(qū)長度

200+200+200mm

熱電偶

K型熱電偶

控溫方式

模糊PID控制和自動整定調(diào)節(jié),智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報警功能

控溫精度

±1℃

設(shè)備尺寸

2700x600x1250mm

設(shè)備重量

180KG


創(chuàng)新點(diǎn)

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產(chǎn)品質(zhì)量

10分

售后服務(wù)

10分

易用性

10分

性價比

10分
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