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AW-QP系列單片式等離子去膠機(jī)
AW-QP系列單片式等離子去膠機(jī)

參考價格

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型號

AW-QP系列單片式等離子去膠機(jī)

品牌

奧威贏

產(chǎn)地

江蘇

樣本

暫無
無錫奧威贏科技有限公司

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設(shè)備用途

高性能的單片去膠(打膠),主要應(yīng)用于 4、6、8 英寸直徑的半導(dǎo)體單片去膠、等離子表面清洗、掃底膜工藝等。

主要應(yīng)用領(lǐng)域包括:芯片制造、MEMS、太陽能電池、化合物產(chǎn)業(yè)(GaAs、GaN、GaP、InP、SiC 等)、光電產(chǎn)業(yè)等,主要應(yīng)用工藝包括:去膠、可控光刻膠去除(刻蝕前掃底膜)、GaAs、InP 晶片去膠及掃底膜等。

產(chǎn)品參數(shù)

產(chǎn)品型號AW-QP600
外形尺寸(不含報警燈塔)L1200×W1500×H1750(mm)
反應(yīng)倉材質(zhì)石英+6061鋁合金
等離子體發(fā)生器頻率13.56MHz,功率0-600W可調(diào),自動阻抗匹配
去膠圓片尺寸4寸、6寸、8寸
去膠速率300-1500A/min
溫度控制30~160℃、±3 ℃
產(chǎn)能及碎片率單腔45~60片/小時,≤1/1000
真空系統(tǒng)油泵/干泵可選,進(jìn)口氣動角閥、充氣閥,高精度真空計
氣路系統(tǒng)MFC質(zhì)量流量計控制(標(biāo)準(zhǔn)配置2路):5SLMO?和1SLM N
控制系統(tǒng)觸摸式工控機(jī)+PLC控制
備注可按客戶需求彈性設(shè)計/多腔設(shè)計


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