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Solid SiC系列品牌
湖南德智產(chǎn)地
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德智新材產(chǎn)品涵蓋碳基、陶瓷及其高端材料，應(yīng)用于半導(dǎo)體芯片制造各個(gè)環(huán)節(jié)，如單晶生長(zhǎng)、外延、刻蝕、擴(kuò)散、CVD、PVD等。產(chǎn)品性能媲美海外SiC耗材先進(jìn)友商，助力高端制造國(guó)產(chǎn)化。
晶圓制造
? 外延 | ? 擴(kuò)散 | ? 刻蝕 |
? 精密加工（石墨） | ? 低壓化學(xué)氣相沉積 （LPCVD） |
? 精密加工（β-SiC） |
? 致密度高 | ? 電阻率可控 | ? 高純度 |
? 高導(dǎo)熱 | ? 耐腐蝕 |
? LED光電 | ? 集成電路 | ? 第三代半導(dǎo)體 |
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