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電子束曝光系統(tǒng)——Pharos 310
電子束曝光系統(tǒng)——Pharos 310

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面議

型號

電子束曝光系統(tǒng)——Pharos 310

品牌

金竟科技

產(chǎn)地

北京

樣本

暫無
北京金竟科技有限責(zé)任公司

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電子束曝光指利用聚焦電子束在光刻膠上制造圖形的工藝,是光刻工藝的延伸應(yīng)用。電子束曝光系統(tǒng)是實現(xiàn)電子束曝光技術(shù)的硬件平臺,系統(tǒng)的性能決定了曝光工藝關(guān)鍵尺寸、拼接和套刻精度等指標(biāo)。


金竟科技完成了電子束曝光工藝和設(shè)備核心部件的技術(shù)突破,率先在中國推出自主創(chuàng)新、品質(zhì)可控、性能優(yōu)異的電子束曝光系統(tǒng)整機設(shè)備:Pharos 310。電子束曝光系統(tǒng)中多項關(guān)鍵技術(shù)指標(biāo)達到國際一流水平,實現(xiàn)了電子曝光設(shè)備國產(chǎn)替代、自主可控的發(fā)展目標(biāo)。


Pharos 310可在4寸基片上曝光<20nm關(guān)鍵特征尺寸。利用Pharos310系統(tǒng)可輕松曝光復(fù)雜版圖,是實驗室條件下進行亞微米至納米級別光刻技術(shù)研發(fā)的利器。


電子束曝光系統(tǒng)應(yīng)用領(lǐng)域

· 半導(dǎo)體制造:用于制造集成電路、芯片等半導(dǎo)體器件。

· 納米技術(shù)研究:在納米材料、納米器件的研發(fā)中發(fā)揮重要作用。

· 光學(xué)領(lǐng)域:制作光子晶體、光波導(dǎo)、調(diào)制器、超表面等光學(xué)元件。

· MEMS(微機電系統(tǒng)):制造納米結(jié)構(gòu)等。

· 生物芯片:用于生物芯片的制作。

· 材料科學(xué):研究材料的表面性質(zhì)、結(jié)構(gòu)等。

· 量子技術(shù):在量子計算、量子通信等領(lǐng)域的研究和開發(fā)中得到應(yīng)用。

電子光學(xué)參數(shù)


· 電子發(fā)射源:采用肖特基發(fā)射源,使用壽命不低于1500小時


· 加速電壓:200eV-30 keV


· 電子束束流:5pA-200nA


· 電子束束斑尺寸:≤2.0nm@30keV


· 寫場速度:**可達到20MHz pixel frequency


· **寫場尺寸:500μm×500μm


· 分辨率(*小線寬):≤20nm*


· 拼接精度:≤±50nm(mean+3σ)


· 套刻精度:≤±50nm(mean+3σ)


· 樣品臺移動范圍:100mm


· 可加工樣品的**尺寸:4英寸晶圓



標(biāo)準(zhǔn)配置


· 采用激光干涉儀定位樣品臺


· 由送樣開始至樣品室真空達到可以工作的時間不多于10分鐘


· 采用自動進樣系統(tǒng),進樣過程中無需人為干涉,配置有光學(xué)導(dǎo)航系統(tǒng)


· 采用Windows操控系統(tǒng),在硬件允許的情況下,終身免費升級


· 提供 UPS 不間斷電源(一臺)


· 具備主動-被動集成式減振系統(tǒng),保證電子束曝光系統(tǒng)的整體穩(wěn)定性。




*工藝:光刻膠PMMA950KA2;光刻膠厚度60nm


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