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超高純單級膜片式壓力調節(jié)器閥門品牌
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PARKER派克Veriflo部門959W和NPR959W（亞大氣）是超高純氣體分配系統(tǒng)中的重負荷型壓力調節(jié)器。束縛式膜片設計通過改進截止閥提高了使用安全性，降低了高壓減壓的風險。閥座被一個一體式濾網(wǎng)進一步保護以免被進口氣缸污染。這種系列對于惰性氣體和腐蝕性氣體同樣適用，同時新穎的壓桿設計排除了螺紋造成的污染，進一步提高了過程清潔度以及吹掃性能。它是當需要嚴格潔凈、穩(wěn)定、抗漏的制造業(yè)操作時的理想選擇。
959W和NPR959W系列與流體接觸的部分由316L不銹鋼構成，具有**的防腐蝕性及抗漏能力。閥體內(nèi)部經(jīng)過電解拋光進一步提高防腐蝕性。對于那些更高級別的防腐蝕性要求，可提供將主要部件（膜片，閥錐，壓桿）用Hastelloy C-22? 哈斯特洛伊C22材料裝飾的選擇。閥座可選擇PCTFE（聚三氟氯乙烯）或Vespel(聚酰亞胺樹脂）材質。在進口壓力高達3,500 psig的情況下，這些材料為調節(jié)器提供了**的防腐蝕性和更大的使用壽命。
內(nèi)部（閥座）密封及金屬外部密封均采用質譜儀進行氦氣泄漏實驗，以獲得其在高要求的超高純應用中有出色穩(wěn)定的表現(xiàn)。
對于非超高純應用，參照959和NPR959系列壓力調節(jié)器。
市場需求：
? 半導體
? 分析實驗室
? 制藥業(yè)
? 生物制藥業(yè)
? 航天航空
? 工業(yè)
特點/優(yōu)勢：
? 獨特的壓桿使閥體不依靠螺紋噴嘴就能實現(xiàn)密封
? 高使用壽命
? 金屬-金屬、膜片-閥體密封以獲得出色的抗漏性能
? 內(nèi)部泄漏率：<2×10 -9 scc/sec He
? 外部泄漏率：<2×10 -10 scc/sec He
? 進口壓力可高達3,500 psig
? 出口壓力從-25 in-Hg到100 psig（NPR959W用于亞大氣壓力控制）
? Cv選項為0.04（std）或0.20
? 15-20 Ra（std）或10 Ra電解拋光表面光潔度
應用：
? 腐蝕性及特殊氣體
? 工具連接
? 特氣柜
? 閥箱
? 上游生產(chǎn)線
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