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YZ-1550EBI光學(xué)鍍膜設(shè)備品牌
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晶控:MXC-3B +六探頭
空載極限真空:8.0x10-5Pa
加熱溫度:**300%C
電源:三相 380V50HZ
蒸發(fā)源:雙槍+固走阻基
空載恢復(fù)真空:2x103pa s15min
選件:RF離子源 /霍爾源
設(shè)備重量:約7T
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