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1200℃三溫區(qū)管式CVD設備
1200℃三溫區(qū)管式CVD設備

參考價格

面議

型號

BTF-1200C-III-3ZL-CVD

品牌

貝意克

產地

安徽合肥

樣本

暫無
安徽貝意克設備技術有限公司

金牌會員

|

第13年

|

生產商

工商已核實

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核心參數
  • 非金屬電熱元件:

    其他
  • 金屬電熱元件:

    鐵鉻鋁絲
  • 燒結氣氛:

    其他
  • 溫控精度:

    ±1℃
  • 最高溫度:

    1200℃
  • 額定溫度:

    ≤1100℃
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一、設備組成

這是一款組合管式CVD設備。該設備主要由多路供氣系統(tǒng)、三溫區(qū)加熱爐、低真空系統(tǒng)、以及智能控壓組件組成。

1、開啟式加熱爐:

三溫區(qū)加熱爐使用輕質氧化鋁纖維材質,K型熱電偶測溫搭配優(yōu)質電阻絲為加熱原件,內部溫場均勻。

2、多路供氣系統(tǒng)

質量流量計可按照程序設定,對多路氣體進行單獨或者混合。操作方便,控制精確。

3、智能控壓組件

通過真空計實時監(jiān)測管內壓力,PLC根據設定壓力大小調節(jié)閥開啟大小,以控制管內壓力穩(wěn)定。

4、低真空系統(tǒng)

配備進口機械泵,進口真空計,質量可靠。


二、技術參數

**溫度

1200℃

持續(xù)工作溫度

≤1100℃

升溫速率

≤10℃/min

控溫精度

±1℃

加熱元件

電阻絲

熱電偶

K型

控溫方式

模糊PID控制和自整定調節(jié),人工智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報警功能

加熱總功率

≤8KW

加熱區(qū)尺寸

300+300+300mm

設備主體尺寸(長*寬*高)

2000*700*1300mm

設備重量

150KG


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產品質量

10分

售后服務

10分

易用性

10分

性價比

10分
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