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電子束連續(xù)生產線
主要功能在玻璃或其他基材上，用電子束沉積的方式蒸鍍各種金屬膜或介質膜。
◆蒸發(fā)內腔尺寸：1.5×1.5×1.4m
◆蒸發(fā)室極限真空：≤ 2×10-4Pa
◆電子槍：4支，每支10kW
◆離子源：4支，空心陰極
◆烘烤溫度：**270℃
◆走速：0.5—5m/min
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