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智能型連續(xù)進(jìn)出料CVD設(shè)備
智能型連續(xù)進(jìn)出料CVD設(shè)備

參考價(jià)格

面議

型號

BTF-1200C-III-3D-CVD-D210

品牌

貝意克

產(chǎn)地

安徽合肥

樣本

暫無
安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司

金牌會員

|

第13年

|

生產(chǎn)商

工商已核實(shí)

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電話詢價(jià)
核心參數(shù)
  • 金屬電熱元件:

    鐵鉻鋁絲
  • 燒結(jié)氣氛:

    其他
  • 溫控精度:

    ±1℃
  • 最高溫度:

    800℃
  • 額定溫度:

    ≤800℃
  • 非金屬電熱元件:

    其他
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一、設(shè)備組成

此款定制智能型連續(xù)進(jìn)出料CVD設(shè)備包含主要由七大部分,進(jìn)料腔,大口徑管式爐、出料腔、推拉機(jī)構(gòu)、供氣系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、以及自動(dòng)化控制軟件組成。

1、進(jìn)料腔:

進(jìn)料腔密封腔體采用石英管,兩端采用橫向法蘭密封;進(jìn)料腔左側(cè)法蘭上配有一個(gè)φ16mm的推料桿,可以實(shí)現(xiàn)真空或惰性氣體保護(hù)下推送載具進(jìn)入高溫爐內(nèi);進(jìn)料腔右側(cè)法蘭通過氣動(dòng)插板閥與高溫爐鏈接和隔斷,可以實(shí)現(xiàn)進(jìn)料腔和高溫管式爐相互獨(dú)立工作,互不干擾。

2、高溫生長爐:

大口徑管式爐采用優(yōu)質(zhì)電阻絲加熱,**使用溫度可達(dá)1100℃,加熱區(qū)長度為300+300+300mm,采用3段控溫且每段上下兩點(diǎn)控溫的方式,可有效提高溫差均勻性;同時(shí)系統(tǒng)設(shè)置了超溫、欠溫、斷偶報(bào)警保護(hù)功能,大大降低了對操作人員經(jīng)驗(yàn)的要求。

3、出料腔:

出料腔密封腔體采用石英管,兩端采用橫向法蘭密封,出料腔右側(cè)法蘭上配有一個(gè)φ16mm的拉料桿,可以實(shí)現(xiàn)真空或惰性氣體保護(hù)下從高溫爐內(nèi)將載具拉入出料腔內(nèi)降溫冷卻;出料腔左側(cè)法蘭通過氣動(dòng)插板閥與高溫爐鏈接和隔斷,可以實(shí)現(xiàn)出料腔和高溫管式爐相互獨(dú)立工作,互不干擾。

4、推拉機(jī)構(gòu):

進(jìn)料腔左側(cè)密封法蘭上配有推料桿及軌道;出料腔右側(cè)密封法蘭上配有拉料桿及軌道;可以實(shí)現(xiàn)真空或惰性氣體保護(hù)下將載具推送進(jìn)高溫爐或?qū)⑤d具拉離高溫爐。

5、供氣系統(tǒng):

供氣系統(tǒng)包含3部分,進(jìn)料腔配備1路質(zhì)量流量計(jì)惰性氣體供氣裝置,高溫生長爐配備1路質(zhì)量流量計(jì)惰性氣體混氣裝置,出料腔配備1路質(zhì)量流量計(jì)惰性氣體供氣裝置;共計(jì)5路質(zhì)量流量計(jì)。

6、真空系統(tǒng):

進(jìn)料腔配備1套機(jī)械泵(機(jī)械泵抽速16m3/h、型號DRV-16),高溫生長爐1套機(jī)械泵(機(jī)械泵抽速24m3/h、型號DRV-24),出料腔配備1套機(jī)械泵(機(jī)械泵抽速16m3/h、型號DRV-16),以及真空計(jì)、手動(dòng)擋板閥、波紋管等連接件共計(jì)3套。

7、觸摸屏控制系統(tǒng):

采用觸摸屏自動(dòng)控制,參數(shù)設(shè)置和操作直觀方便,參數(shù)自動(dòng)記錄保持,一鍵操作。


二、技術(shù)參數(shù)

額定功率

18KW

額定電壓

AC380V 三相五線制進(jìn)線開關(guān)3P40A

**溫度

800℃

持續(xù)工作溫度

≤800℃

推薦升溫速率

≤10℃/min

加熱區(qū)尺寸

150+300+150mm

控溫方式

模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié),智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報(bào)警功能

控溫精度

±1℃

加熱元件

電阻絲

控溫

K型熱電偶

冷卻水配置

水流量≥6L/min

氣源配置

氣缸動(dòng)力氣 0.45~0.6Mpa ≥300L/min;工藝氣體0.1~0.3Mpa

爐體尺寸

爐體:6150*860*1900mm

設(shè)備凈重

850KG


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產(chǎn)品質(zhì)量

10分

售后服務(wù)

10分

易用性

10分

性價(jià)比

10分
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