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智能型PECVD系統(tǒng)
智能型PECVD系統(tǒng)

參考價(jià)格

面議

型號(hào)

PECVD-III-500A-D210

品牌

貝意克

產(chǎn)地

安徽合肥

樣本

暫無(wú)
安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司

金牌會(huì)員

|

第13年

|

生產(chǎn)商

工商已核實(shí)

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電話詢價(jià)
核心參數(shù)
  • 非金屬電熱元件:

    其他
  • 金屬電熱元件:

    鐵鉻鋁絲
  • 燒結(jié)氣氛:

    其他
  • 溫控精度:

    ±1℃
  • 最高溫度:

    1200℃
  • 額定溫度:

    ≤1100℃
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一、設(shè)備組成

這是一款智能型PECVD系統(tǒng)。該設(shè)備主要分為四大部分:多溫區(qū)管式爐、射頻組件、氣路系統(tǒng)、及自動(dòng)化控制軟件集成系統(tǒng)。

1、開啟式加熱爐

加熱爐膛采用超輕氧化鋁纖維材料,配K型熱電偶,6點(diǎn)控溫;設(shè)備升降溫控制靈活、加熱爐可電動(dòng)開啟方便客戶更換維修反應(yīng)管。

2、氣路系統(tǒng)

   可由質(zhì)量流量計(jì)精確控制多路氣體按不同流量進(jìn)行混合配比,另外單獨(dú)1路過(guò)鼓泡器后進(jìn)入反應(yīng)管內(nèi)。

3、射頻組件

    1000W高性能射頻輝光均勻,可使整個(gè)反應(yīng)腔體都處于輝光產(chǎn)生區(qū)。

4、 智能控制系統(tǒng)          

    采用智能PID模糊控制,30段可編程控制。具有超溫和斷偶報(bào)警功能。

 

二、技術(shù)參數(shù)

**溫度

1200℃

持續(xù)工作溫度

≤1100℃

升溫速率

≤10℃/min

控溫精度

±1℃

加熱元件

電阻絲

熱電偶

K型

控溫方式

模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié),人工智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報(bào)警功能,人機(jī)界面加PLC控制,15寸液晶屏控制,數(shù)字工控儀表雙控,采用工業(yè)智能控溫儀和軟件實(shí)現(xiàn)雙控

加熱總功率

≤15KW

加熱區(qū)尺寸

300+300+300mm

射頻功率

1000W

設(shè)備尺寸

2550*850*1600mm

設(shè)備重量

約600KG


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用戶評(píng)論

產(chǎn)品質(zhì)量

10分

售后服務(wù)

10分

易用性

10分

性價(jià)比

10分
評(píng)論內(nèi)容
暫無(wú)評(píng)論!
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