品級:
合格品外觀:
液體有效物質含量:
-執(zhí)行質量標準:
-密度(g/c㎡):
-虛擬號將在 180 秒后失效
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半導體芯片在經(jīng)過蝕刻工藝后會產(chǎn)生殘留物,以及需要對TiN腐蝕進行清洗,以保證晶圓表面光潔度,同樣是保證良率的關鍵步驟。公司正在開發(fā)適用于不同節(jié)點的蝕刻后清洗液產(chǎn)品。產(chǎn)品包括酸性或堿性蝕刻后清洗液系列產(chǎn)品, 可適用于鋁制程和銅制程以及光阻劑和氮化鈦硬掩膜蝕刻后清洗。
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