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主要技術(shù)參數(shù):
**粘接晶圓6英寸;氣囊壓力0-3Bar可調(diào):可在真空狀態(tài)下粘片;加熱**溫度200度，采用金屬盤(pán)管自動(dòng)水冷系統(tǒng);采用觸摸屏控制粘片工藝全流程，優(yōu)化工藝設(shè)計(jì)，多種工藝流程可選。
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