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管式快速退火爐系統(tǒng) LFT1200C 900D150IIIHSF-3ZLV
管式快速退火爐系統(tǒng) LFT1200C 900D150IIIHSF-3ZLV

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型號

管式快速退火爐系統(tǒng) LFT1200C 900D150IIIHSF-3ZLV

品牌

康帕因

產(chǎn)地

安徽

樣本

暫無
合肥康帕因設(shè)備技術(shù)有限公司

金牌會員

|

第4年

|

生產(chǎn)商

工商已核實

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核心參數(shù)
  • 非金屬電熱元件:

    其他
  • 金屬電熱元件:

    其他
  • 燒結(jié)氣氛:

    其他
  • 溫控精度:

    -
  • 最高溫度:

    -
  • 額定溫度:

    -
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該設(shè)備為RTP快速升溫爐,加熱元件為紅外燈管,可快速升降溫。內(nèi)置移動導(dǎo)軌,并有電極帶動再導(dǎo)軌上滑動,三溫區(qū)結(jié)構(gòu)設(shè)計,配合自動化程序控制,可實現(xiàn)樣品在不動條件下的自動化移動和蒸鍍處理。

技術(shù)參數(shù)

加熱部分:

爐膛模式:前后移動開啟式爐膛(三個工藝爐膛)

顯示模式:10 英寸觸摸屏

加熱元件:短紅外波燈管,上下水平面獨立加熱

工作溫度:≤750℃

升溫速率:≥15℃/s(空爐)

樣品移動:電機驅(qū)動,速度可調(diào)

溫區(qū)長度:200mm(恒溫區(qū) 100*100mm)

溫度均勻性:≤±2℃

工藝位溫降;≤30℃

快速降溫;≥3℃/S(空爐)

爐管規(guī)格  :Φ150*1200 mm

控溫精度:±1℃

密封方式:快速法蘭密封

儀表補償:室溫自動補償

溫度曲線:30 段"時間—溫度曲線"任意可設(shè)

測溫元件:K 型鎧裝熱電偶(Omega)

爐膛材料:氧化鋁纖維

外形尺寸  :1450*700*1000MM長*寬*高

整機功率:單個溫區(qū) 12kw,共計 36KW

電源參數(shù):380V 50Hz

樣品移動:伺服電機驅(qū)動剛玉推桿帶動基板移動

運行軌道:鉬軌道

推桿速度:可調(diào)

導(dǎo)軌水平度:≤1mm/m

推桿定位誤差:≤1mm

防撞措施  :超力矩推不動,急停按鈕

蒸發(fā)距離:樣品下平面和坩堝上平面間距≦2mm,可根據(jù)需要調(diào)節(jié)

速度誤差  :≤1%

抽真空能力:大氣到≤5Pa 小于 15min(空爐)

氣壓范圍:10 -3Pa~10 5Pa,機械泵極限≤5Pa

泄漏率:≤5 -4(Pa*m 3/s)

真空計范圍:大氣到 10 -5Pa,**分辨率 0.01Pa

氣路系統(tǒng):按照工藝要求定制


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性價比

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