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石墨盤在外延設備中起著至關重要的作用。n硅晶片在成為半導體成品前，需要經過許多步驟，其中一個關鍵的工藝流程即是硅外延。n潤石新材料生產的半導體外延片生長的CVD石墨盤采用日本TOYO,TOKAI,以及德國SGL進口石墨，可以達到≤5PPM的純度，具有更好的穩(wěn)定性、更長的使用壽命。建議使用材料：SGL6510、SGL6650、HK-2、HK-5
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