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PECVD石墨舟
PECVD石墨舟

參考價格

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型號

PECVD石墨舟

品牌

浙江華熔

產(chǎn)地

浙江

樣本

暫無
浙江華熔科技有限公司

會員

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第2年

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生產(chǎn)商

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  • 石墨舟核心技術(shù)

· 二次純化工藝,直接提高材料的純度,長周期工況條件下,石墨舟各點電阻率仍保持優(yōu)異的均勻一致性,保證電流均勻,降低鍍膜色差,同時有效減緩石墨舟的氧化,提高壽命。

· 舟葉表面C-coating涂層工藝,舟頁表面平面度、光潔度更好,使舟頁和硅片之間接觸面積更大,飽和以后使用次數(shù)增加,舟使用壽命延長。

· Balance加工工藝,**限度消除石墨舟片內(nèi)應(yīng)力,長周期使用后不易變形,有效減少熱延展80%以上。


  • 石墨舟核心指標(biāo)


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