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石墨坩堝品牌
弘瞬產(chǎn)地
浙江樣本
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石墨托盤(pán)
技術(shù)
1)用于LED外延片加工石墨頂板;
2)擋板結(jié)構(gòu)內(nèi)部晶片邊緣休息;
3)擋板與晶片襯底到兩個(gè)層次之間的互補(bǔ)關(guān)系;
4)保持擋板晶片襯底邊緣重合邊構(gòu)成充分循環(huán)。
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