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團簇式OLED真空蒸鍍工藝裝備品牌
鵬城半導體產地
廣東樣本
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團簇式OLED真空蒸鍍工藝裝備是自主“OLED真空蒸鍍工藝裝備”，是“卡脖子”的35項關鍵技術的第六項。項目技術團隊已完成G1(1代線) 和G2.5（2.5代線）的研發(fā)設計和生產制造。
項目技術團隊已經解決了大部分關鍵技術問題（如：源爐技術、精準對位技術（對位精度達到1.5μm）、精密蒸鍍電源技術、原位膜厚測量技術、高真空傳遞機械手、電控系統及自動化控制軟件等）。
公司可對外承接OLED的G1和 G2.5工藝線的設計制造。
技術指標
| 指標 | 參數 |
|---|---|
| 對位精度 | CCD精密對位≤1.5 υm，機械對位≤150 υm |
| 膜厚均勻性和重復 | ±2% |
| 總體技術路線 | 采用Cluster方案 |
| 工藝流程 | 設計-審核-外協-組裝-電氣安裝-調試-出廠 |
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