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ESDP變螺距干式螺桿真空泵
ESDP變螺距干式螺桿真空泵

參考價(jià)格

面議

型號(hào)

ESDP變螺距干式螺桿真空泵

品牌

沃爾姆

產(chǎn)地

山東

樣本

暫無(wú)
煙臺(tái)沃爾姆真空技術(shù)有限公司

會(huì)員

|

第2年

|

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 ■ ESDP干式螺桿泵的應(yīng)用范圍

  ●ESDP系列在半導(dǎo)體合成及液晶生產(chǎn)上的應(yīng)用,主要有半導(dǎo)體等離子增強(qiáng)氣相沉淀(PECVD)和反映離子刻蝕(RIE)工藝,液晶生產(chǎn)蝕刻制程和生產(chǎn)TFT熒幕電漿(PLASMA)的CVD制程中。此工藝要求返流為0,以保護(hù)工件免受污染。

  ● 在石油化工中,主要是抽取可凝性氣體,或有毒氣體,或腐蝕性氣體,或含有微塵的氣體。

  ●制藥行業(yè),用于藥物的真空干燥,藥物中間體回收,回收氣體消毒劑,為人造器官提供清潔無(wú)菌條件等。

  ●化工中用于真空蒸餾及溶劑萃取回收,例如萃取回收丙酮,多元醇等工藝

  ●工業(yè)排氣;集中式真空處理系統(tǒng)

  ●擠出機(jī)的混合工藝及板材的排氣工藝

  ●混合樹脂脫腥工藝;在脂肪酸生產(chǎn)中用于消除水污染,及噴射器中的阻塞物

  ●食品行業(yè)用于香料、香精濃縮,食品包裝等。


  ■ ESDP干式螺桿真空泵技術(shù)參數(shù)


型號(hào)抽氣量極限壓力電機(jī)功率轉(zhuǎn)速進(jìn)氣排氣冷卻水量噪聲重量
M3/hPaKWrpmmmmmL/mindBKg
ESDP3202601.337.5290065501080320
ESDP4303601.3311290065501280380
ESDP6505401.3315290080651280580
ESDP9007501.3318.52900100652080680
ESDP150014001.33372900125803082950

  如需得到更為詳細(xì)的信息,請(qǐng)咨詢客服。


  ■ ESDP干式螺桿真空泵標(biāo)準(zhǔn)配件

  基座和防護(hù)罩

  排氣消聲器及進(jìn)氣分離器

  吸氣口

  止回閥

  真空計(jì)


  ■ ESDP干式螺桿真空泵可選配件

  吸濾器

  排氣冷凝器

  吸入式氣液分離器

  流量開關(guān)及溫度開關(guān)


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