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■ 設備參數：
設備型號 | DRR15 | DRR20 | DRR25 |
掃描范圍 | 54mm×54mm（可定制） | ||
加工幅面 | 500mm×2000mm | 250mm×2000mm×2 | 500mm×2000mm （雙頭） |
定位精度 | ±4μm | ||
重復精度 | ±3μm | ||
深度控制 | ≤±5μm | ||
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