參考價格
面議型號
品牌
產(chǎn)地
美國樣本
暫無看了LAUDA Semistat熱電的過程恒溫器的用戶又看了
留言詢價
虛擬號將在 180 秒后失效
使用微信掃碼撥號
簡介:
熱電過程恒溫器 適用于 -20 至 90 °C 的半導體行業(yè)
詳細介紹：
為苛刻的工藝過程快速和精確的溫度控制
熱電溫度控制系統(tǒng)LAUDA Semistat為等離子刻蝕工藝提供穩(wěn)定的可重復性的溫度控制。系統(tǒng)動態(tài)地控制靜電卡盤(ESC)的溫度并可以用在任何的刻蝕工藝中。LAUDA Semistat 熱電溫度控制系統(tǒng)設(shè)計的基礎(chǔ)是基于帕爾帖原理的溫度轉(zhuǎn)換， 這些原件可以實現(xiàn)快速且精準的溫度控制，滿足了當今元器件生產(chǎn)尺寸越來越小的要求。
與基于壓縮機的系統(tǒng)相比，熱點在線使用 Semistat 溫度控制系統(tǒng)，降低能耗多達 90 %?？砂惭b在使用地點的地下，非常節(jié)省空間，這樣**限度地減少無塵室的使用。快速和精準地將過程溫度曲線控制在 ±0.1 K，從而提高晶圓間均質(zhì)性。
重要功能：
l低能耗，沒有壓縮機和制冷劑的系統(tǒng)
l占地空間小，如果放置在地板下方則不占用Sub-Fab
l極低的導熱液體填充量
技術(shù)參數(shù)：
暫無數(shù)據(jù)！
LAUDA Semistat熱電的過程恒溫器的工作原理介紹？LAUDA Semistat熱電的過程恒溫器的使用方法？LAUDA Semistat熱電的過程恒溫器多少錢一臺？LAUDA Semistat熱電的過程恒溫器使用的注意事項LAUDA Semistat熱電的過程恒溫器的說明書有嗎？LAUDA Semistat熱電的過程恒溫器的操作規(guī)程有嗎？LAUDA Semistat熱電的過程恒溫器的報價含票含運費嗎？LAUDA Semistat熱電的過程恒溫器有現(xiàn)貨嗎？LAUDA Semistat熱電的過程恒溫器包安裝嗎？
移動端
工商已核實
