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LAUDA Semistat熱電的過程恒溫器
LAUDA Semistat熱電的過程恒溫器

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美國

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勞達貿(mào)易(上海)有限公司

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簡介:

熱電過程恒溫器 適用于 -20 至 90 °C 的半導體行業(yè)

詳細介紹:

為苛刻的工藝過程快速和精確的溫度控制

熱電溫度控制系統(tǒng)LAUDA Semistat為等離子刻蝕工藝提供穩(wěn)定的可重復性的溫度控制。系統(tǒng)動態(tài)地控制靜電卡盤(ESC)的溫度并可以用在任何的刻蝕工藝中。LAUDA Semistat 熱電溫度控制系統(tǒng)設(shè)計的基礎(chǔ)是基于帕爾帖原理的溫度轉(zhuǎn)換, 這些原件可以實現(xiàn)快速且精準的溫度控制,滿足了當今元器件生產(chǎn)尺寸越來越小的要求。

與基于壓縮機的系統(tǒng)相比,熱點在線使用 Semistat 溫度控制系統(tǒng),降低能耗多達 90 %??砂惭b在使用地點的地下,非常節(jié)省空間,這樣**限度地減少無塵室的使用。快速和精準地將過程溫度曲線控制在 ±0.1 K,從而提高晶圓間均質(zhì)性。

重要功能:

l低能耗,沒有壓縮機和制冷劑的系統(tǒng)

l占地空間小,如果放置在地板下方則不占用Sub-Fab

l極低的導熱液體填充量

技術(shù)參數(shù):

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性價比

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