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LUMINA光學表面缺陷分析儀
LUMINA光學表面缺陷分析儀

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美國

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上海納騰儀器有限公司

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簡介

Lumina AT1光學表面缺陷分析儀可對玻璃、半導(dǎo)體及光電子材料進行表面檢測。Lumina AT1既能夠檢測SiCGaN、藍寶石和玻璃等透明材料,又能對Si、砷化鎵、磷化銦等不透明基板進行檢測,其價格優(yōu)勢使其成為適合于研發(fā)/小批量生產(chǎn)過程中品質(zhì)管理及良率改善的有力工具。

Lumina AT1結(jié)合散射測量、橢圓偏光、反射測量與表面斜率等基本原理,以非破環(huán)性方式對Wafer表面的殘留異物,表面與表面下缺陷,形狀變化和薄膜厚度的均勻性進行檢測。

1.偏振通道用于薄膜、劃痕和應(yīng)力點;

2.坡度通道用于凹坑、凸起;

3.反射通道用于粗糙表面的顆粒;

4.暗場通道用于微粒和劃痕;

二、功能

l 主要功能

1. 缺陷檢測與分類

2. 缺陷分析

3. 薄膜均一性測量

4. 表面粗糙度測量

5. 薄膜應(yīng)力檢測

l 技術(shù)特點

1.透明、半透明和不透明的材料均可測量,比如硅、化合物半導(dǎo)體或金屬基底;

2.實現(xiàn)亞納米的薄膜涂層、納米顆粒、劃痕、凹坑、凸起、應(yīng)力點和其他缺陷的全表面掃描和成像;

3.150mm晶圓全表面掃描的掃描時間為3分鐘,50x50mm樣品30秒內(nèi)可完成掃描并顯示結(jié)果;

4.高抗震性能,系統(tǒng)不旋轉(zhuǎn),形狀無關(guān),可容納非圓形和易碎的基底材料;

5.高達300x300mm的掃描區(qū)域;可定位缺陷,以便進一步分析;技術(shù)能力

三、應(yīng)用案例

1. 透明/非透明材質(zhì)表面缺陷檢測

2. MOCVD外延生長成膜缺陷管控

3. PR膜厚均一性評價

4. Clean制程清洗效果評價

5. WaferCMP后表面缺陷分析

6. 多個應(yīng)用領(lǐng)域,如AR/VRGlass、光掩模版、藍寶石、Si wafer

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產(chǎn)品質(zhì)量

10分

售后服務(wù)

10分

易用性

10分

性價比

10分
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