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108Auto是一款結(jié)構(gòu)緊湊的離子濺射鍍膜儀，它可以手動(dòng)或者自動(dòng)操作，特別適用于掃描電鏡成像中非導(dǎo)電樣品高質(zhì)量鍍膜。
主要特性
自動(dòng)的換氣與泄氣功能，可以得到一致的膜厚，和**的導(dǎo)電噴鍍效果。
通過(guò)高效低壓直流磁控頭進(jìn)行冷態(tài)精細(xì)的噴鍍過(guò)程，避免樣品表面受損。
操作容易快捷，可全自動(dòng)或手動(dòng)進(jìn)行噴鍍操作，控制的參數(shù)包括自動(dòng)放氣以及氬氣換氣控制。
在自動(dòng)模式下，可通過(guò)兩種方式進(jìn)行控制鍍膜過(guò)程。可通過(guò)數(shù)字顯示器控制得到可重現(xiàn)的噴鍍效果，
通過(guò)使用MTM-20高分辨膜厚控制儀（選件）在達(dá)到設(shè)定膜厚時(shí)停止噴鍍過(guò)程。
可用MTM-20高分辨膜厚控制儀（選件）手動(dòng)停止噴鍍過(guò)程。
數(shù)字化的噴鍍電流控制不受樣品室內(nèi)氬氣壓力影響，可得到一致的鍍膜速率和**的鍍膜效果。
技術(shù)參數(shù)
| 濺射系統(tǒng) | |
| 樣品室大小 | 直徑120mm x 120mm 高 (4.75 x 4.75") |
| 靶材 | Au 靶為標(biāo)配， Au:Pd， Pt， Pt:Pd （選件）;大?。褐睆?7mm x 0.1mm厚 |
| 樣品臺(tái) | 可以裝載12個(gè)SEM樣品座，高度可調(diào)范圍為50mm |
| 濺射控制 | 微處理器控制，安全互鎖，可調(diào)，電流10、20、30、40mA，程序化數(shù)字控制 |
| 濺射頭 | 低電壓平面磁控管，靶材更換快速，環(huán)繞暗區(qū)護(hù)罩 |
| 模擬計(jì)量 | 真空： Atm - 0.001mbar |
| 厚度監(jiān)控 (選件) | 使用MTM-20高分辨厚度控制儀（選件）自動(dòng)終止濺射過(guò)程，或使用MTM-10高分辨厚度監(jiān)控儀（選件）手動(dòng)終止濺射過(guò)程 |
| 控制方法 | 自動(dòng)氣體換氣和泄氣功能，自動(dòng)處理排序，帶有“暫?！笨刂频臄?shù)字定時(shí)器（5－300s），自動(dòng)放氣.整個(gè)操作亦可全手動(dòng)控制。 |
| 真空系統(tǒng) | |
| 真空泵 | 2級(jí)直連式高速真空泵 |
| 抽氣速率 | 3.0 m3/小時(shí) ，真空度到 0.1mb所需時(shí)間30秒. |
| 桌上系統(tǒng) | 真空泵可置于抗震臺(tái)上，全金屬集成耦合系統(tǒng) |
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