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性能特點(diǎn)
1、監(jiān)視系統(tǒng)采用聚光光源
2、減薄過程無離子束遮擋。
3、觀察系統(tǒng)設(shè)計(jì)有了防污染系統(tǒng)
4、結(jié)構(gòu)緊湊，體積小，有防誤操
作系統(tǒng)
5、可獲得十分清潔的樣品，使得
從樣品中提取的信息更為真實(shí)
可靠。
6、適用性廣泛，可制備金屬、非金屬、陶瓷、礦物、半導(dǎo)體、骨骼、牙齒等幾乎所有固體材料
產(chǎn)品編號(hào) | ZB-YQ69 |
產(chǎn)品名稱 | 離子減薄儀 |
離子束加速電壓 | 0-10KV 連續(xù)可調(diào) |
**束流密度 | 大于 200μA/cm |
減薄速度( 銅 ) | 30μ/h（**） |
樣品對(duì)離子束的傾角 | 5-90°（普通臺(tái)） 0-90°（精細(xì)拋光臺(tái)） |
真空度 | 5×10﹣3Pa（不送氣） |
離子束對(duì)樣品的*小傾角 | 7°（普通試樣臺(tái)） 2°（拋光試樣臺(tái)） |
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