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德國(guó)BMT WLI VLA干涉儀

德國(guó)BMT WLI VLA干涉儀可快色準(zhǔn)確的測(cè)量粗糙和鏡面反射工件的表面輪廓?？捎糜跍y(cè)量平整度、波紋度、扭曲、臺(tái)階高度和多種其他表面特性。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

•粗糙和鏡面反射表面的微觀測(cè)量

•平整度和輪廓測(cè)量

•測(cè)量結(jié)果不受樣品的顏色和材料影響

•測(cè)量時(shí)間短，數(shù)秒完成

•測(cè)量范圍大

•快速分析表面結(jié)構(gòu)

•非常小巧

•自動(dòng)獲取數(shù)據(jù)并評(píng)估進(jìn)行

•可定制各種配置

•幾乎免維護(hù)

技術(shù)參數(shù)：

•光源 LED

•測(cè)量范圍 （mm) 15

•垂直分辨率（nm） ≥1

•橫向分辨率（μm） 20-80

•測(cè)量面積 （mm） 10×10— 40×40

•工作距離 （mm) 24

•數(shù)碼相機(jī)＜14位（Pixel） 1280×1024