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儀器簡(jiǎn)介：
真空紫外光柵光譜儀
該系列光柵光譜儀主要應(yīng)用于大約30nm至可見光區(qū)波段，部分型號(hào)的儀器可以將應(yīng)用范圍擴(kuò)展到紅外波段。光路設(shè)計(jì)主要以標(biāo)準(zhǔn)/改良型Czerny-Turner型、正入射型、Seya Namioka型為主，針對(duì)不同的實(shí)驗(yàn)需求做設(shè)計(jì)上的優(yōu)化。
除主機(jī)部分外，還提供各種周邊附件，以構(gòu)成各種完整的測(cè)量系統(tǒng)。
技術(shù)參數(shù)：
| 波長(zhǎng)范圍 | 光譜 分辨率 | 焦距長(zhǎng)度 | 產(chǎn)品型號(hào) | 掃描 功能 | 多道探測(cè)功能 | 光路結(jié)構(gòu) |
| 30nm to 550nm | 0.1nm | 200mm | 234/302 | 有 | 有 | Corrected Concave Holographic |
| 105nm to 78µm | 0.06nm | 300mm | 218 | 有 | 有 | Criss Cross Czerny Turner |
| 105nm to 78µm | 0.04nm | 500mm | 219 | 有 | 有 | Corrected Czerny Turner |
| 30nm to 1200nm | 0.04nm | 500mm | 235 | 有 | 有 | Seya Namioka |
| 105nm to 78µm | 0.03nm | 670mm | 207V | 有 | 有 | Czerny Turner |
| 105nm to 78µm | 0.017nm | 1000mm | 2061V | 有 | 有 | Czerny Turner |
| 30nm to 1200nm | 0.015nm | 1000mm | 225 | 有 | 有 | Autofocus Normal Incidence |
| 30nm to 1200nm | 0.025nm | 1000mm | 231 | 有 | 有 | Seya Namioka |
| 105nm to 78µm | 0.012nm | 1330mm | 209V | 有 | 有 | Czerny Turner |
| 30nm to 1200nm | 0.007nm | 2000mm | 2252 | 有 | 有 | Autofocus Normal Incidence |
| 30nm to 1200nm | 0.005nm | 3000mm | 2253 | 有 | 有 | Autofocus Normal Incidence |
| 30nm to 1200nm | <0.003nm | 5000mm | 2255 | 有 | 有 | Autofocus Normal Incidence |
| 30nm to 1200nm | <0.0025 | 6500mm | 265 | 有 | 有 | Off Plane Eagle Normal Incidence |
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