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便攜式白光干涉儀能用來(lái)能測(cè)量和分析大型工件。該儀器可以直接放在表面測(cè)量。因?yàn)榈撞刻厥獾娜c(diǎn)設(shè)計(jì)，該設(shè)備可以直接放在表面被測(cè)量，甚至彎曲表面是可以衡量的。數(shù)據(jù)分析是在筆記本或桌面電腦原位做的。這款白光干涉儀尺寸緊湊和結(jié)構(gòu)穩(wěn)健，因而可以用在許多不同的情況使用。除了平常的研究調(diào)查應(yīng)用，該設(shè)備主要是用來(lái)質(zhì)量管理和過(guò)程控制。這款白光干涉儀通過(guò)其快速、準(zhǔn)確的檢測(cè)，以**條件生成有意義的規(guī)格來(lái)確保產(chǎn)品和流程的質(zhì)量。
測(cè)量系統(tǒng) | ||||
測(cè)量原理 | 白光干涉法 | |||
z-定位系統(tǒng) | Piezo 物鏡調(diào)節(jié)系統(tǒng) | |||
高度測(cè)量范圍 垂直分辨率 | Up to 400 μm <1 nm | |||
| 光源 | LED | |||
尺寸 | 270x127x165 mm(HxWxD) | |||
物鏡放大倍數(shù) 橫向測(cè)量范圍 *小分辨率 | 10x or 20x 480x360 um² or 320x240 um² 1.20 um or 0.90 um | |||
測(cè)量時(shí)間 | < 1min. | |||
軟件 | ||||
smartWLI | 軟件用于測(cè)量地形和使用一個(gè)直接接口到MountainsMap分析軟件輸出的3D數(shù)據(jù)，自動(dòng)拼接模塊 | |||
MountainsMap® | 廣泛的分析軟件以及輪廓和三維可視化、測(cè)量數(shù)據(jù)預(yù)處理和后處理DIN EN ISO粗糙度和高度的含量測(cè)定，順序處理，測(cè)量記錄 | |||
文檔格式 | ASCII， SUR， BCR-STM， BMP， JPEG， TIFF | |||
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