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Delta薄膜厚度測(cè)量系統(tǒng)利用薄膜干涉光學(xué)原理，對(duì)薄膜進(jìn)行厚度測(cè)量及分析。用從深紫外到近紅外可選配的寬光譜光源照射薄膜表面，探頭同位接收反射光線。Delta根據(jù)反射回來(lái)的干涉光，用反復(fù)校準(zhǔn)的算法快速反演計(jì)算出薄膜的厚度。測(cè)量范圍1nm-3mm，可同時(shí)完成多層膜厚的測(cè)試。對(duì)于100nm以上的薄膜，還可以測(cè)量n和k值。
應(yīng)用案例
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體（SiO2/SiNx、光刻膠、MEMS，SOI等）
LCD/TFT/PDP(液晶盒厚、聚亞酰胺ITO等)
LED (SiO2、光刻膠ITO等）
觸摸屏(ITO AR Coating反射/穿透率測(cè)試等)
汽車(chē)(防霧層、Hard Coating DLC等）
醫(yī)學(xué)（聚對(duì)二甲苯涂層球囊/導(dǎo)尿管壁厚藥膜等）
型號(hào) | Delta-VIS | Delta-DUV | Delta-NIR |
波長(zhǎng)范圍 | 380-1050nm | 190-1100nm | 900-1700nm |
厚度范圍 | 50nm-40um | 1nm-30um | 10um-3mm |
準(zhǔn)確度1 | 2nm | 1nm | 10nm |
精度 | 0.2nm | 0.2nm | 3nm |
入射角 | 90° | 90° | 90° |
樣品材料 | 透明或半透明 | 透明或半透明 | 透明或半透明 |
測(cè)量模式 | 反射/透射 | 反射/透射 | 反射/透射 |
光斑尺寸2 | 2mm | 2mm | 2mm |
是否能在線 | 是 | 是 | 是 |
掃描選擇 | XY可選 | XY可選 | XY可選 |
注：1.取決于材料0.4%或2nm之間取較大者。
2.可選微光斑附件。
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