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島津電子封裝類專用氦質(zhì)譜檢漏儀MSE-4200S
島津電子封裝類專用氦質(zhì)譜檢漏儀MSE-4200S

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日本

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MSE-4200S 電子封裝類專用氦質(zhì)譜檢漏儀

島津氦質(zhì)譜檢漏儀搭載了新型的CPU,采用專用的分流泵及中間排氣系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)了**的低BG恢復(fù)性能和操作性。

產(chǎn)品信息

主要特點(diǎn)

  • 檢出靈敏度:10-13-100Pa m3/s (He)

  • 保證生產(chǎn)節(jié)拍 6sec/c,BG:2.5X 10-10Pa m3/s (干燥氮排氣時(shí))

  • **的BG恢復(fù)性能和操作性

  • 大屏幕液晶觸摸屏面板,操作簡單

  • 分析管采用長壽命的鍍氧化釷銥燈絲(內(nèi)置兩根)

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