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WCT-120PL產品分別采用標準QSSPC方法和光致發(fā)光法測量硅片的載流子壽命
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WCT-120PL產品分別采用標準QSSPC方法和光致發(fā)光法測量硅片的載流子壽命。 瞬態(tài)光電導衰減法(PCD)和熒光方法兩種互為補充。操作和使用起來和WCT120一樣方便。

wct-120pl系統(tǒng)能力

主要應用

通過使用QSSPC短暫的壽命測量PL測量制造過程監(jiān)控和優(yōu)化步驟。

其它功能:

?初始材料(硅片)質量監(jiān)控

?(硅片)加工過程中重金屬污染晶圓檢測

?評價表面鈍化和發(fā)射極的摻雜劑擴散

?使用隱含的VOC測量來查找生產過程引入的漏電因素

?迭代計算qssplQSSPC數據得到襯底摻雜情況

上圖是wct-120pl得到的一個校準的熒光壽命曲線與一個校準的QSSPC壽命曲線產生壽命數據載流子密度對照曲線。

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