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WCT-120PL產(chǎn)品分別采用標(biāo)準(zhǔn)QSSPC方法和光致發(fā)光法測(cè)量硅片的載流子壽命。 瞬態(tài)光電導(dǎo)衰減法（PCD）和熒光方法兩種互為補(bǔ)充。操作和使用起來(lái)和WCT120一樣方便。
wct-120pl系統(tǒng)能力
主要應(yīng)用：
通過使用QSSPC或短暫的壽命測(cè)量和PL測(cè)量制造過程監(jiān)控和優(yōu)化步驟。
其它功能：
?初始材料（硅片）質(zhì)量監(jiān)控
?（硅片）加工過程中的重金屬污染晶圓檢測(cè)
?評(píng)價(jià)表面鈍化和發(fā)射極的摻雜劑擴(kuò)散
?使用隱含的VOC測(cè)量來(lái)查找生產(chǎn)過程引入的漏電因素
?迭代計(jì)算qsspl和QSSPC數(shù)據(jù)得到襯底摻雜情況
上圖是wct-120pl得到的一個(gè)校準(zhǔn)的熒光壽命曲線與一個(gè)校準(zhǔn)的QSSPC壽命曲線產(chǎn)生壽命數(shù)據(jù)的載流子密度對(duì)照曲線。
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