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普發(fā)真空HPA 220 / SPM 220分析設(shè)備
普發(fā)真空HPA 220 / SPM 220分析設(shè)備

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德國

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普發(fā)真空技術(shù)(上海)有限公司

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HPA/SPM

定性和定量氣體分析模塊化和靈活的解決方案。

高壓分析儀 HPA 220

在壓力范圍高達(dá) 50 hPa 下的氣體分析

高壓分析儀 HPA 220 是一個模塊化、靈活實用的質(zhì)譜儀系統(tǒng),它帶有一個干式渦輪分子泵組,可用于在壓力高達(dá) 50 hPa 的真空中進(jìn)行氣體分析。

根據(jù) HPA 220 的用途,有五種不同電動氣動以及手動操作的進(jìn)氣口閥可供選擇。

產(chǎn)品優(yōu)勢

  • 由于其 5 種手動、電動氣動操作的進(jìn)氣口選擇,使得它在壓力高達(dá) 50 hPa 壓下為分析、監(jiān)測和控制過程提供了很大的靈活性。

  • 通過各種數(shù)字和模擬輸入和輸出,使系統(tǒng)集成方便而靈活。

  • 多重操作允許多個質(zhì)譜儀 系統(tǒng)只用一臺電腦進(jìn)行數(shù)據(jù)評估。

  • 緊湊的尺寸實現(xiàn)靈活的集成。

應(yīng)用

  • 在 1 · 10-7 至 50 hPa 的壓力范圍內(nèi)進(jìn)行真空工藝的分析、監(jiān)測和控制

  • 真空鍍膜系統(tǒng)的制造商和操作員

  • 半導(dǎo)體生產(chǎn)

  • 光刻

  • 冶金

  • 真空爐

  • 研發(fā)

鍍膜工藝監(jiān)測器 SPM 220

10-2 hPa 的即時鍍膜工藝氣體分析

真空鍍膜工藝監(jiān)測器 SPM 220 為鍍膜工藝的定性和定量氣體分析提供了**的解決方案。HiPace 渦輪分子泵組和質(zhì)譜儀系統(tǒng)的組合加上專門開發(fā)的鍍膜工藝監(jiān)測器離子源,在高達(dá) 10-2 hPa 的壓力下,實現(xiàn)了精確到分鐘的工藝氣體分析。

普發(fā)真空還提供了一個帶有壓差孔板法蘭的版本作為選擇,使得在高達(dá) 10 hPa 的壓力范圍里進(jìn)行直接的工藝氣體分析成為了可能。

產(chǎn)品優(yōu)勢

  • 用于瞬時過程監(jiān)測的鍍膜工藝監(jiān)測器離子源

  • 用于 H2、O2、H2O 和 CO2 的優(yōu)秀檢測限

  • 對測量結(jié)果的*小化背景影響

  • 壓力高達(dá) 10 hPa 的壓差版本

  • 多重操作允許帶單個 PC 的多個質(zhì)譜儀系統(tǒng)進(jìn)行數(shù)據(jù)評估

  • 靈活集成的緊湊尺寸

  • 通過各種數(shù)字和模擬輸入和輸出,使系統(tǒng)集成方便而靈活

應(yīng)用

  • 在高達(dá) 10-2 hPa 的壓力下,鍍膜工序的分析可精確到分鐘

  • 真空鍍膜系統(tǒng)的制造商和操作員

  • 半導(dǎo)體生產(chǎn)

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