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Ossila勻膠機(jī)

英國(guó)Ossila公司勻膠機(jī)，操作簡(jiǎn)單，方便實(shí)用，旋涂均勻，結(jié)構(gòu)小巧緊湊，為實(shí)驗(yàn)室提供了理想的解決方案，其采用創(chuàng)新設(shè)計(jì)的非真空卡盤(pán)式旋涂吸盤(pán)，無(wú)需真空泵或充氮?dú)猓湍苓_(dá)到很好的旋涂效果?？蓪?duì)大小不同規(guī)格的基材都可進(jìn)行旋涂，尤其是對(duì)超薄樣品，即使基片厚度0.7毫米、0.55毫米、0.2毫米或更薄時(shí)同樣能達(dá)到**的旋涂效果。不會(huì)出現(xiàn)真空吸盤(pán)旋涂較薄的基材襯底翹曲現(xiàn)象，影響涂層的均勻性。廣泛應(yīng)用于微電子、半導(dǎo)體、制版、新能源、生物材料、光學(xué)及表面涂覆等工藝。

技術(shù)性能

u 可在手套箱和通風(fēng)廚內(nèi)使用，基座面積僅為22.5x17cm。

u 無(wú)需真空泵、充氮?dú)?，?jié)省保養(yǎng)維護(hù)費(fèi)用。

u 創(chuàng)新設(shè)計(jì)非真空卡盤(pán)式吸盤(pán)，基材只需放置在卡盤(pán)式旋涂托盤(pán)適當(dāng)位置，無(wú)需抽真空，就能達(dá)到**的旋涂效果。

u 耐酸堿防腐蝕FEP覆膜操作界面，堅(jiān)固的不銹鋼外殼，鋼化的玻璃蓋和耐酸堿防腐蝕的襯墊和聚丙烯材質(zhì)旋涂托盤(pán)，使得在各種苛刻條件下仍能保證儀器正常運(yùn)行。

u 采用液晶顯示+按鍵操作控制界面。智能程序化控制，10個(gè)用戶自定義協(xié)議，每個(gè)協(xié)議下可設(shè)置10個(gè)程序，每個(gè)程序*多50個(gè)步驟。

u 內(nèi)置水平校準(zhǔn)裝置，大限度的保證旋涂均勻，可對(duì)大小不同規(guī)格的基片進(jìn)行旋涂。

u 電磁安全開(kāi)關(guān)，蓋子打開(kāi)卡盤(pán)停止，保證運(yùn)行安全。

u 轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性：<2%。

u 轉(zhuǎn)速：120-6000rpm。

u 定時(shí)器：1-1000秒。

u 電源：DC24V、2A， 使用100-240V 50/60Hz電源適配器。

u 尺寸：220x170x132mm。

左：普通旋涂機(jī)上有真空密封環(huán)形印跡 右：Ossila非真空式旋涂效果