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超微加工,微納加工服務(wù)
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公司長(zhǎng)期定制加工微孔, 掩膜板, Si基各種特種薄膜或薄膜孔陣列,金屬基微器件。歡迎詳詢!

采用UV-LIGA技術(shù)進(jìn)行各種常規(guī)、異性金屬材質(zhì)的微納孔加工。典型critical dimension為1um-100um;材料選擇廣泛如Ni、Cu、Zn、Fe-Ni、Ni-W等。

硅基微加工采用半導(dǎo)體工藝,加工具有高的深寬比微納米孔。

500nm密孔陣列

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