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1700CVD系統(tǒng)
1700CVD系統(tǒng)

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品牌

產(chǎn)地

上海

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上海煜志科技有限公司(杭州嘉悅智能設(shè)備有限公司)

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第2年

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簡(jiǎn)介

YG-1706I-CVD系統(tǒng)由YG-1706管式爐、三路浮子混氣系統(tǒng)、內(nèi)置測(cè)溫系統(tǒng)及真空系統(tǒng)等組成。真空泵采用雙極旋片真空泵,真空度可達(dá)到5x10-1Torr;內(nèi)置測(cè)溫系統(tǒng)可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)反應(yīng)管內(nèi)的溫度變化。適用于真空鍍膜、納米薄膜材料制備、納米線生長(zhǎng)等場(chǎng)所。同時(shí)煜志良好的售后服務(wù),使得該產(chǎn)品的整體評(píng)價(jià)遠(yuǎn)超同行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。

主要技術(shù)參數(shù)

YG-1706

真空管式爐

雙層爐殼間配有風(fēng)冷系統(tǒng),有效保證外殼表面溫;

日本技術(shù)真空吸附成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛,保溫性能好

加熱元件采用進(jìn)口優(yōu)質(zhì)U型硅鉬棒,表面負(fù)荷高,大大提高了其使用壽命

電壓

AC220V 50Hz/60Hz;功率:6kW

爐管

采用99氧化鋁剛玉管,致密度高,經(jīng)久耐用,不易斷裂

尺寸:Φ40/60/80*1000mm

4個(gè)氧化鋁管堵

法蘭及支撐

SUS304不銹鋼快速水冷法蘭,長(zhǎng)期水冷無(wú)腐蝕

一個(gè)卡箍就能完成法蘭的連接,放、取物料方便快捷

可調(diào)節(jié)的法蘭支撐,平衡爐管的受力支撐

包含進(jìn)氣、出氣、真空抽口針閥,KF密封圈及卡箍組合,4個(gè)密封硅膠圈等

加熱系統(tǒng)

加熱元件:6根U型硅鉬棒

加熱區(qū)長(zhǎng)度:280mm

恒溫區(qū)長(zhǎng)度:100mm

工作溫度:≤1600℃

**溫度:1650℃

升溫速率:≤10℃/min

溫控系統(tǒng)

溫度控制采用人工智能調(diào)節(jié)技術(shù),具有PID調(diào)節(jié)、自整定功能

50段升降溫程序

測(cè)溫元件:B型雙鉑銠熱電偶

恒溫精度:±1

三路浮子

混氣系統(tǒng)

三路浮子流量計(jì)配置在移動(dòng)工作臺(tái)上,可以同時(shí)通入三路不同的氣體 ;

內(nèi)置不銹鋼混氣箱,每路氣體管路均配有逆止閥;

管路采用聚四氟乙烯軟管,耐溫耐腐;

每路氣體進(jìn)氣管路配有不銹鋼針閥;

流量規(guī)格:0.3-3L/min;

控制精度:±5%.

低真空系統(tǒng)

采用雙極旋片真空泵,真空度可達(dá)5x10-1 Torr

不銹鋼充油真空壓力表,良好的抗震性

內(nèi)置測(cè)溫系統(tǒng)

測(cè)溫元件可從加熱區(qū)邊緣延伸至溫區(qū)中心

法蘭密封,保證爐管的密封性

測(cè)溫元件:B型雙鉑銠熱電偶

尺寸

高溫爐:660*580*910mm

混氣移動(dòng)工作臺(tái):800*540*720mm

可選配件

HQZ混氣系統(tǒng),中、高真空系統(tǒng),各種剛玉坩堝,剛玉管,計(jì)算機(jī)控制軟件,無(wú)紙記錄儀,氧含量分析儀,冷卻水循環(huán)機(jī)等。

可根據(jù)客戶要求定制!

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產(chǎn)品質(zhì)量

10分

售后服務(wù)

10分

易用性

10分

性價(jià)比

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