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Tergeo EM型SEM及TEM樣品/樣品桿清潔專用等離子清潔儀
PIE Scientific專注研發(fā)先進(jìn)的實驗室用等離子儀器，用于SEM/TEM樣品清潔、光刻膠蝕刻、等離子體增強(qiáng)沉積、表面處理與活化。我們的宗旨是：將半導(dǎo)體和核工程研究中開發(fā)的**等離子技術(shù)集成到經(jīng)濟(jì)實用的實驗室用等離子儀器。
專為去除SEM & TEM樣品的碳?xì)湮廴径O(shè)計。特有的雙清洗模式（immersion和downstream）能夠處理各種不同的樣品，從嚴(yán)重污染的電子光學(xué)孔徑光闌到各種脆弱易損樣品，如石墨烯、碳納米管、類金剛石碳膜以及多孔碳支持膜銅網(wǎng)上的TEM樣品。石英樣品托板上的孔洞可以安裝標(biāo)準(zhǔn)SEM樣品托。特別設(shè)計的適配器可以清潔不同廠家的TEM樣品桿。
特點：
1. 系統(tǒng)具有雙等離子源。浸入式等離子源用于主動表面處理、光刻膠蝕刻。遠(yuǎn)程式等離子源用于溫和的污染清除以及脆弱易損樣品的表面活化
2. 13.56MHz高頻射頻發(fā)生器
3. 7英寸觸摸屏控制界面，全自動操作
4. 標(biāo)配75W版本，可選150W版本
5. 標(biāo)配2路氣體輸入，可選第三路氣體輸入
6. 可選與FEI、JEOL、HITACHI等TEM樣品桿配套的專用適配器
7. AC輸入：通用(110~230V， 50/60Hz)
除了Tergeo EM型SEM & TEM樣品清潔專用等離子清潔儀，另有Tergeo Basic基本型等離子清潔儀和Tergeo Plus型大腔室等離子清潔儀，歡迎選購！
暫無數(shù)據(jù)！
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