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英國高純氣特氣分析儀Ellutia
英國高純氣特氣分析儀Ellutia

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英國

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通用實驗科技(中國)有限公司

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高純氣體應(yīng)用領(lǐng)域極廣,無論是藥物分析實驗室亦或是硅芯片制造廠,都需要使用高質(zhì)量高純度氣體。如在半導(dǎo)體工業(yè),高純氮,氫,氬,氦可作為載氣,保護(hù)氣和配制混合氣的氣體來源。

Ellutia高純氣/特氣分析儀可提供一整套氣體混合物的分析方法,檢測限可達(dá)ppb級(<50ppb),既可用于檢測常見的He、H2,Ar,N2,CO2中的微量雜質(zhì),還可分析特種氣體如HCL,SiH4,BCL3,N2O,CF4等。根據(jù)不同應(yīng)用要求,實現(xiàn)客戶化定制。

產(chǎn)品特點

實現(xiàn)多種氣體高靈敏度檢測

氦氣吹掃,避免與空氣接觸所引起的外界污染

精密防泄露裝置,避免潛在污染

配備高純氣吸氣劑,去除微量雜質(zhì)

尺寸規(guī)格小,不占據(jù)實驗室空間

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