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YAMATO光刻膠固化爐
YAMATO光刻膠固化爐

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型號(hào)

品牌

產(chǎn)地

日本

樣本

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浚和(上海)儀器有限公司

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第2年

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性 能 (依 JTM 規(guī)格 )

使用溫度范圍 : 室溫 +50~50 0℃

溫度調(diào)節(jié)精度: ±0. 5℃(at 45 0℃ 無(wú)負(fù)荷狀態(tài)下)

溫度分布精度: ±5℃(at 45 0℃ 無(wú)負(fù)荷狀態(tài)下)

JTM 標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定點(diǎn) 根據(jù)有效尺寸 1/6 處,含槽內(nèi)中心點(diǎn)共測(cè)量9點(diǎn)

運(yùn)行: 程序運(yùn)行(升溫 ,恒溫,降溫 ,定時(shí) )

定時(shí)機(jī)能 : 1min~99h59min,100~999h,

升溫速率 : ≤40min , (150~450℃≥7.5℃/min ,全程平均 )

潔凈度 : 溫度恒定時(shí) 100 級(jí)

氧濃度 : 20 ppm 以下

真空度 : 100Pa 以下

真空到達(dá)時(shí)間 : 約15min

工作狀態(tài)指示:觸摸屏上有工作過(guò)程(抽真空中 -N2置換中 -氧濃度檢測(cè)中-加熱中、 N2維持中 -恒定中 -冷卻中 -抽真空中 -空氣進(jìn)入中 -結(jié)束)

構(gòu) 造

外裝材質(zhì) : 冷扎彩鋼板 ,表面噴塑

內(nèi)裝承壓體材質(zhì) : SUS 316不銹鋼板 ,

斷熱材 : 硅酸鋁棉板

加熱器 : 鎧裝不銹鋼加熱管 380V 4.0KwX3=12Kw

加熱板220V 300 w X 14 = 4.2Kw

組合式送風(fēng)機(jī) : 離心風(fēng)葉 φ230 X 130-1個(gè),風(fēng)量 L=1800m3/h

變頻調(diào)速電機(jī)380V (1450/min轉(zhuǎn))

N2噴管 : N2噴頭

水冷器 : SUS盤(pán)管換熱器

過(guò)濾網(wǎng) : 耐高溫效過(guò)濾網(wǎng)HEPA( 過(guò)濾率0.3μm粒子99.9995%以上 )

門(mén) : 單門(mén)正前面 ,門(mén)開(kāi)口W660×H 660

外形尺寸 : 本體 W1150 ×D1215 ×H1697(設(shè)置時(shí)、以及突起物除外)

內(nèi)室尺寸 : W600×D600×H600mm

容積 : 216 L

棚受段數(shù) : 17段/30mm (高度方向均分)

棚板數(shù)量 : 2枚

N2外接進(jìn)氣接頭 : 快換接頭φ10mm 一個(gè) 。

冷卻水接頭 : 快換接頭φ10mm和φ16mm各一個(gè) 。

測(cè)試孔 : 左側(cè) 1個(gè) KF16 溫度分布精測(cè)試口、2個(gè)內(nèi)螺紋1/4的接頭,用于氧濃度和潔凈度的檢測(cè) 。

電磁閥 : 控制真空、 N2 、水的通斷時(shí)序。

重量 : 320g

電 源 :AC380V 3φ5W 50Hz 30A以下

計(jì)裝

溫度調(diào)節(jié)器 : 液晶觸摸屏加PLC, PID控制,液晶顯示,觸摸按鍵設(shè)置。

溫度傳感器 : K型熱電偶4支

壓力控制儀 : 數(shù)字式

壓力變送器 : 相對(duì)值壓力變送器

壓差計(jì) : 用于測(cè)量?jī)?nèi)槽與空調(diào)間之的壓差以此為依據(jù)來(lái)判定過(guò)濾器是否需清潔。

變頻 器 : 用與調(diào)節(jié)風(fēng)機(jī)轉(zhuǎn)速(由觸摸屏設(shè)定風(fēng)機(jī)頻率)

玻璃轉(zhuǎn)子流量計(jì) : a.300L/min用于快速并保證槽內(nèi)的氧濃度在10ppm以下 。

b.15-25L/min用于維持槽內(nèi)的氧濃度在10ppm以下,另加預(yù)熱器保證進(jìn)入槽內(nèi)N2溫度在槽內(nèi)設(shè)定溫度,不 干擾槽內(nèi)的均勻度。

氧濃度分析儀 : 檢測(cè)槽內(nèi)氧濃度,20ppm以下在加熱,

真空泵 : 愛(ài)發(fā)科雙級(jí)有油旋片式真空泵

溫度過(guò)升防制器 : 用于溫度異常過(guò)升的防止,

電磁閥 : 用于控制抽真空、 N2和冷卻水的開(kāi)閉。

強(qiáng)制門(mén)鎖緊 : 2處

保護(hù)裝置

漏電保護(hù)開(kāi)關(guān) : 本體 380V 漏電保護(hù)開(kāi)關(guān)

漏電,短路,過(guò)電流保護(hù)

額定感度電流 30mA

過(guò)熱防止回路 : 溫度異常過(guò)升時(shí),加熱器電源斷開(kāi)、電機(jī)風(fēng)葉動(dòng)作,并報(bào)警

送風(fēng)機(jī)電機(jī): 當(dāng)電機(jī)過(guò)負(fù)荷時(shí)、加熱器電源斷開(kāi)保護(hù)回路,并報(bào)警

N2異常 : 氮?dú)饬髁坎蛔?,加熱停止,并?bào)警

冷卻水異常 : 流量不足,報(bào)警

門(mén)鎖 : 工作時(shí)門(mén)自動(dòng)鎖

門(mén)開(kāi)關(guān) : 門(mén)未關(guān)閉好,機(jī)器不會(huì)啟動(dòng),按啟動(dòng)鍵,給出報(bào)警。

異常顯示 : 當(dāng)上述異常發(fā)生時(shí)、觸摸屏上報(bào)警提示框異常顯示故障內(nèi)容 ,蜂鳴器響。

創(chuàng)新點(diǎn)

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產(chǎn)品質(zhì)量

10分

售后服務(wù)

10分

易用性

10分

性?xún)r(jià)比

10分
評(píng)論內(nèi)容
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