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手持式X射線熒光光譜儀(XRF由激發(fā)源(X射線管)和探測系統(tǒng)構(gòu)成。X射線管產(chǎn)生入射X射線(一次X射線)，激發(fā)被測樣品。受激發(fā)的樣品中的每一種元素會放射出二次義射線，并且不同的元素所放射出的二次X射線具有特定的能量特性或波長特性，探測系統(tǒng)測量這些放射出來的二次X射線的能量及數(shù)量，然后，儀器軟件將探測系統(tǒng)所收集到的信息轉(zhuǎn)換成樣品中各種元素的種類及含量，達到定性定量分析的目的。
根據(jù)終典電微理論，運動的帶電子的運動速度發(fā)生改變時會向外復射電磁波，實驗宰中常用的從線源便是利用這一原理產(chǎn)生的:利用被高樂加速的電子轟擊金屬靶，電子被金屬靶所減速，便向外輻射X射線。X射線是一種波長較短的電磁輻射，通常是指能量范用在0,1~100key的光子。
由于X熒光具有一定波長，同時又有一定能量，因此，手持式X射線熒光光譜儀有兩種基本類型:波長色散型和能量色散型。下圖是這兩類儀器的原理圖:
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