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四氟化碳分析氦離子色譜儀
四氟化碳分析氦離子色譜儀

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上海華愛色譜分析技術(shù)有限公司

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氦離子色譜儀適用電子工業(yè)用氣體中痕量雜質(zhì)的檢測,小檢測濃度可達(dá)5ppb。儀器配備高靈敏的氦離子化檢測器,采用華愛公司的中心切割技術(shù),進(jìn)樣閥均帶有吹掃保護(hù)氣路;整機(jī)采用多柱箱設(shè)計,并配備進(jìn)樣壓力自動校正系統(tǒng)

四氟化碳分析氦離子色譜儀配備高靈敏的氦離子化檢測器,采用華愛公司的中心切割技術(shù),進(jìn)樣閥均帶有吹掃保護(hù)氣路;整機(jī)采用多柱箱設(shè)計,并配備進(jìn)樣壓力自動校正系統(tǒng),不同底氣的樣品的進(jìn)樣量。產(chǎn)品先后榮獲上海市成果轉(zhuǎn)化A級項目。

項目指 標(biāo)
四氟化碳(CF4)純度(體積分?jǐn)?shù))/10-299.99999.99599.99
氮(N2)含量(體積分?jǐn)?shù))/10-642040
氧+氬(O2+Ar)含量(體積分?jǐn)?shù))/10-61510
二氧化碳(CO2)含量(體積分?jǐn)?shù))/10-61510
一氧化碳(CO)含量(體積分?jǐn)?shù))/10-60.10.51
六氟化硫(SF6)含量(體積分?jǐn)?shù))/10-6115
水分(H2O)含量(體積分?jǐn)?shù))/含量,10-63510
酸度(以HF計)含量含量(體積分?jǐn)?shù))/10-60.10.30.3
其它鹵碳化合物a含量(體積分?jǐn)?shù))/10-611030
總雜質(zhì)含量(體積分?jǐn)?shù))/l0-6 105010
顆粒供需雙方商定供需雙方商定供需雙方商定

其它鹵碳化合物包括:六氟乙烷、八氟丙烷等。

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10分

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10分

易用性

10分

性價比

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