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產品介紹
曦合超導提供的探針平臺在半導體-MEMS-超導材料探測等領域是重要的高科技科研設備，有著不可替代的重要作用。
通過微米級別的探針頭和光學顯微鏡，可實現在材料介觀水平提供低溫物理電學測試、微波探測及可視化成像等功能。
在整個溫度范圍內的IV和CV曲線測試、微波測試、光電測試、表征變磁環(huán)境下的磁輸運特性、理解載流子濃度的霍爾效應測試，和其他材料的研究。
該設備提供了一個可以引入電學、光學及微波信號的低溫、真空、帶磁場的環(huán)境，由探針臂引入信號、由閉循環(huán)制冷機實現低溫制冷、由真空杜瓦提供真空環(huán)境、由超導磁體提供高強度磁場。
關鍵核心技術
超導磁體技術：閉循環(huán)垂直磁場超導磁體探針臺實現達到6T的磁場，通過自主搭建的電磁-機械-傳熱多物理場耦合下的優(yōu)化設計算法，實現了低損耗-高穩(wěn)定性的緊湊結構超導磁體系統設計與制備。
快降溫高傳導的制冷技術：采用雙級G-M制冷機冷卻的低溫系統，對結構材料進行熱物性測試，并應用于系統中的熱傳導結構和熱沉結構；使用熱開關技術實現4 K溫區(qū)的快速降溫。
熱開關技術：采用低溫熱開關技術實現了樣品臺溫度的快速調控 技術參數
| 磁場 | 溫度 | ||
| 磁場類型 | 超導磁體 | 基礎溫度 | 10K |
| 磁場方向 | 垂直 | 控制范圍 | 10K到500K |
| 磁場控制 | 電流控制 | 安裝6個探針臂 真空 | |
| 磁場大 | ±3T，**可達到±6T | 抽真空時 | 小于30分鐘 |
| 磁場均勻性 | 0.5% 10mm直徑 0.7% 25mm直徑 | 冷源 | 液氦 |
產品詳情
圖 低溫探針平臺產品效果圖
應用領域
半導體晶圓、凝聚態(tài)物理、光電測試、超導材料、納米電子學、磁性&自旋電子學、有機&分子電子學、量子器件、微波電子學、低噪音射頻、鐵電體薄膜、低溫電子學。
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